حلولنا الكاملة للهواء الجاف النظيف في مصانع أشباه الموصلات

أحد المكونات المهمة في إنتاج أشباه الموصلات هو تركيبات الهواء الجاف النظيف (CDA). ويشمل ذلك أرضية الضاغط وأرضية المجفف/المرشح. وتتضمن العملية سلسلة من الخطوات لضمان نقاء الهواء الأمثل، وهو أمر ضروري لبيئة الإنتاج.

تتضمن رحلة تحقيق هواء نظيف وجاف وخالٍ من الزيت ومعتمد عدة مراحل:
 

1. الهواء المحيط 
   تُقاس مستويات نقاء الهواء الأولية. 
2. الهواء المشبع المضغوط 
   يتم ضغط الهواء، ما يزيد من الرطوبة النسبية وتركيز الملوثات في الهواء 
3. الهواء المشبع المرشح مسبقًا
   قبل أن يذهب الهواء إلى المجفف، يتم إجراء ترشيح تقريبي أولي لتجنب دخول هذه الجسيمات إلى المجفف
4. هواء جاف مُبرد مسبقًا 
   يقلل المجفف العامل بمادة مجففة الرطوبة في الهواء إلى نقطة تكاثف الضغط (PDP) التي تبلغ -100 درجة مئوية 
5. الهواء الجاف المرشح 
   بعد المجفف توجد مرحلة أولى بعد الترشيح لالتقاط جميع الغبار المنقول. ووراء هذا المرشح، تظل لدينا خطوة ترشيح نهائي كامل لإزالة الجسيمات النهائية وضمان جودة هواء تصل إلى 0,01 ميكرون.

يُعد الهواء الجاف النظيف CDA ضروريًا في تطبيقات مختلفة داخل صناعة أشباه الموصلات، بما في ذلك:
 

• تبريد الأدوات وتجفيفها

• التطهير

• الأدوات والمعدات المُستخدمة في الطباعة الحجرية الفوتوغرافية

توفر حلول Atlas Copco الكاملة للهواء الجاف النظيف CDA المال في كفاءة استهلاك الطاقة ولديها العديد من الفرص لحماية البيئة من خلال استعادة الطاقة المستخدمة. وإذا أخذنا هذا المثال لأحد حلول المصانع لدينا في خط إنتاج أشباه الموصلات الحديث، فيمكنك سرد مساهماتنا على النحو التالي:

• توفير ما يصل إلى 143 مليون كيلوواط من الطاقة

• خفض انبعاثات ثاني أكسيد الكربون بمقدار 65 مليون كيلوجرام

• ما يعادل نمو 1.7 مليون شتلة شجرة لمدة 10 سنوات 

• توفير 43 مليون لتر من البنزين

• تقليل الحاجة إلى حرق 5 مليون كيلوجرام من الفحم

• توفير 21 مليون يورو في تكاليف الطاقة