CDA čistý suchý vzduch Elektronika a polovodiče Elektronika a polovodič Kvalita vzduchu Kvalita produktů
Naše komplexní řešení pro čistý suchý vzduch, Clean Dry Air, ve výrobních závodech polovodičů
Elektronika je nedílnou součástí našeho každodenního života a ovlivňuje osobní i pracovní činnosti. Je hnací silou moderního světa, díky níž vše běží hladce a efektivně.
Co jsou polovodičové výrobní závody?
Zaměření na čistý suchý vzduch - Clean Dry Air (CDA)
Důležitou součástí výroby polovodičů je instalace čistého suchého vzduchu (CDA). Toto zařízení zahrnuje podlahu kompresoru a podlahu sušičky/filtrů. Proces zahrnuje řadu kroků k zajištění optimální čistoty vzduchu, která je pro výrobní prostředí nezbytná.
Průtok pro optimální čistotu vzduchu
Cesta k dosažení certifikovaného čistého vzduchu neznečištěného mazivy má několik fází:
- Okolní vzduch
Měří se počáteční úroveň čistoty vzduchu. - Stlačený nasycený vzduch
Vzduch se stlačí, čímž se zvýší relativní vlhkost a koncentrace znečišťujících látek ve vzduchu - Předfiltrovaný nasycený vzduch
Před vstupem vzduchu do sušičky dochází k první hrubé filtraci, aby se zabránilo vniknutí těchto částic do sušičky. - Předchlazený suchý vzduch
Adsorpční sušička snižuje vlhkost vzduchu až na tlakový rosný bod (PDP) -100 °C. - Filtrovaný suchý vzduch
Za sušičkou následuje první stupeň následné filtrace, která zachytí veškerý prach. Za tímto filtrem máme ještě absolutní závěrečný stupeň filtrace, který odstraní poslední částice a zaručí kvalitu vzduchu až 0,01 μm.
Ukázka kritických aplikací
CDA má zásadní význam v různých aplikacích v polovodičovém průmyslu, včetně:
Chlazení a sušení nářadí
Proplachování
Nářadí a zařízení ve fotolitografii
Naše komplexní řešení
Komplexní řešení společnosti Atlas Copco pro CDA šetří peníze za energetickou účinnost a má mnoho příležitostí, jak pomoci životnímu prostředí zpětným získáváním spotřebované energie. Pokud uvedeme příklad jednoho z našich výrobních závodů v moderní výrobní lince polovodičů, můžeme náš přínos uvést takto:
Úspora až 143 milionů kilowattů energie
Snížení emisí CO2 o 65 milionů kilogramů
Ekvivalent pěstování 1,7 milionu sazenic stromů po dobu 10 let
Úspora 43 milionů litrů benzínu
Snížení potřeby spálit 5 milionů kilogramů uhlí
Úspora nákladů na energii ve výši 21 milionů eur