CDA clean dry air Ηλεκτρονικά και ημιαγωγοί Electronics and semiconductor Ποιότητα αέρα Ποιότητα προϊόντος
Οι συνολικές λύσεις μας για καθαρό ξηρό αέρα σε εργοστάσια κατασκευής ημιαγωγών
Τα ηλεκτρονικά εξαρτήματα αποτελούν αναπόσπαστο στοιχείο της καθημερινής μας ζωής, επηρεάζοντας τόσο τις προσωπικές όσο και τις επαγγελματικές δραστηριότητές μας. Είναι η κινητήρια δύναμη του σύγχρονου κόσμου, εξασφαλίζοντας την ομαλή και αποτελεσματική λειτουργία όλων των συστημάτων.
Τι είναι τα εργοστάσια κατασκευής ημιαγωγών;
Εστίαση στον καθαρό ξηρό αέρα (CDA)
Ένα σημαντικό στοιχείο στην παραγωγή ημιαγωγών είναι η εγκατάσταση συστήματος καθαρού ξηρού αέρα (CDA). Αυτό περιλαμβάνει το δάπεδο του αεροσυμπιεστή και το δάπεδο του ξηραντήρα/φίλτρου. Η διαδικασία περιλαμβάνει μια σειρά βημάτων για τη διασφάλιση της βέλτιστης καθαρότητας του αέρα, η οποία είναι απαραίτητη για το περιβάλλον παραγωγής.
Η ροή για βέλτιστη καθαρότητα αέρα
Η διαδικασία για την επίτευξη πιστοποιημένου καθαρού, ξηρού και χωρίς λάδια αέρα περιλαμβάνει διάφορα στάδια:
- Αέρας περιβάλλοντος
Μετρώνται τα αρχικά επίπεδα καθαρότητας αέρα. - Συμπιεσμένος κορεσμένος αέρας
Ο αέρας συμπιέζεται, αυξάνοντας τη σχετική υγρασία και τη συγκέντρωση των ρύπων στον αέρα. - Προφιλτραρισμένος κορεσμένος αέρας
Πριν ο αέρας φτάσει στον ξηραντήρα, πραγματοποιείται ένα πρώτο πρόχειρο φιλτράρισμα για να αποφευχθεί η είσοδος αυτών των σωματιδίων στον ξηραντήρα. - Προψυγμένος ξηρός αέρας
Ο ξηραντήρας προσρόφησης μειώνει την υγρασία του αέρα σε σημείο δρόσου υπό πίεση (PDP) –100 °C. - Φιλτραρισμένος ξηρός αέρας
Μετά τον ξηραντήρα ακολουθεί ένα πρώτο στάδιο μετά το φιλτράρισμα για τη συγκράτηση όλης της σκόνης που μεταφέρεται. Πίσω από αυτό το φίλτρο υπάρχει ένα τελικό στάδιο απόλυτου φιλτραρίσματος για την απομάκρυνση των τελικών σωματιδίων και τη διασφάλιση της ποιότητας του αέρα σε επίπεδα έως 0,01 um.
Παρουσίαση σημαντικών εφαρμογών
Ο καθαρός ξηρός αέρας (CDA) είναι απαραίτητος σε διάφορες εφαρμογές στη βιομηχανία ημιαγωγών, όπως στα εξής:
Ψύξη και στέγνωμα εργαλείων
Εκκένωση
Εργαλεία και εξοπλισμός στη φωτολιθογραφία
Οι ολοκληρωμένες λύσεις μας
Οι ολοκληρωμένες λύσεις της Atlas Copco για συστήματα καθαρού ξηρού αέρα (CDA) εξοικονομούν ενέργεια και προσφέρουν πολλές ευκαιρίες για την προστασία του περιβάλλοντος μέσω της ανάκτησης της ενέργειας που καταναλώνεται. Αν πάρουμε ως παράδειγμα μία από τις λύσεις FAB που προσφέρουμε σε μια σύγχρονη γραμμή παραγωγής ημιαγωγών, η συμβολή μας συνοψίζεται στα εξής:
Εξοικονόμηση έως και 143 εκατομμυρίων κιλοβάτ ενέργειας
Μείωση των εκπομπών CO2 κατά 65 εκατομμύρια κιλά
Ισοδύναμο με την καλλιέργεια 1,7 εκατομμυρίων δενδρυλλίων για 10 έτη
Εξοικονόμηση 43 εκατομμυρίων λίτρων βενζίνης
Μείωση της ανάγκης καύσης 5 εκατομμυρίων κιλών άνθρακα
Εξοικονόμηση 21 εκατομμυρίων ευρώ σε ενεργειακά κόστη