Air propre et sec (CDA) Industrie électronique et semiconducteurs Industrie électronique et des semi-conducteurs Qualité de l'air Qualité du produit
Nos solutions complètes pour l’air propre et sec dans les usines de semi-conducteurs
L’électronique fait partie intégrante de notre vie quotidienne et influence à la fois nos activités personnelles et professionnelles. Elle est la force motrice du monde moderne, ce qui permet de faire tout fonctionner de manière fluide et efficace.
Qu’est-ce qu’une usine de semi-conducteurs?
Accent sur l’air propre et sec (Clean Dry Air, CDA)
L’installation d'air propre et sec (CDA) est un composant essentiel de la production de semi-conducteurs. Cela inclut le plancher du compresseur et le plancher du sécheur/filtre. Le processus implique une série d’étapes pour garantir une pureté d’air optimale, ce qui est essentiel à l’environnement de production.
Le débit pour une pureté d’air optimale
Le cheminement vers un air propre, sec et exempt d’huile certifiée comporte plusieurs étapes:
- Température d'air ambiant
Les niveaux initiaux de pureté de l’air sont mesurés. - Air comprimé saturé
L’air est comprimé, ce qui augmente l’humidité relative et la concentration de contaminants dans l’air - Air saturé préfiltré
Avant que l’air n’entre dans le sécheur, une première filtration grossière est effectuée pour éviter que ces particules ne pénètrent dans le sécheur - Air sec pré-refroidi
Le sécheur par adsorption réduit l’humidité de l’air jusqu’à un point de rosée sous pression (PDP) de -100°C - Air sec filtré
Après le sécheur, il y a une première étape de post-filtration pour capturer tout le résidu de poussière. Derrière ce filtre, nous disposons toujours d’une étape de filtration finale absolue pour éliminer les particules finales et garantir une qualité de l’air jusqu’à 0,01 um.
Présentation des applications critiques
Le CDA est essentiel dans diverses applications de l’industrie des semi-conducteurs, notamment:
Refroidissement et séchage des outils
Purge
Outils et équipements en photolithographie
Nos solutions totales
Les solutions complètes d’Atlas Copco pour CDA permettent d’économiser de l’argent sur l’efficacité énergétique et offrent de nombreuses opportunités d'aider l’environnement en récupérant l’énergie utilisée. Si nous prenons cet exemple pour l’une de nos solutions FAB dans une ligne de production de semi-conducteurs moderne, vous pouvez répertorier nos contributions comme suit:
Économies allant jusqu’à 143 millions de kilowatts d’énergie
Réduction des émissions de CO2 de 65 millions de kilogrammes
Équivalent à la culture de 1,7 million de plants d’arbres pendant 10 ans
43 millions de litres d’essence économisés
Réduction du besoin de brûler 5 millions de kilogrammes de charbon
Économies de 21 millions d’euros sur les coûts énergétiques