半導体工場のクリーンな乾燥空気のためのトータルソリューション
電子機器は私たちの日常生活に不可欠なものであり、個人的および職業的活動の両方に影響を及ぼします。現代の世界の原動力であり、すべてを円滑かつ効率的に進めています。
半導体製造工場とは何ですか？
FAB（半導体製造工場）と呼ばれる専門施設では、半導体と電子機器を製造しています。これらの工場では、高度な技術を使用して最高品質の生産を保証しています。
クリーンドライエア (CDA) に着目
半導体製造における重要な構成要素は、クリーンドライエア (CDA) 設備です。これには、コンプレッサーフロアとドライヤー / フィルタフロアが含まれます。このプロセスには、生産環境に不可欠な最適な空気純度を確保するための一連のステップが含まれます。
最適な空気純度のための流量
認証されたクリーンで乾燥したオイルフリーの空気を達成するには、いくつかの段階があります。
- 大気
初期の空気純度レベルが測定されます。 - 圧縮された飽和空気
空気が圧縮され、相対湿度と空気中の汚染物質の濃度が上昇します。 - プレフィルタを通過した飽和空気
空気がドライヤーに送られる前に、最初の粗ろ過が行われ、粒子がドライヤーに入らないようにします。 - 事前に冷却された乾燥空気
吸着式ドライヤーは、空気中の湿度を圧力下露点 (PDP) -100°C まで低減します。 - ろ過された乾燥空気
ドライヤーの後ろには、通過したすべての粉塵を捕捉するフィルターの第 1 段階があります。そのフィルタの後ろには、最終的な粒子を除去し、0.01um までの空気品質を保証する絶対的な最終ろ過工程があります。
重要なアプリケーションの紹介
CDA は、半導体産業内のさまざまな用途で不可欠です。
ツールの冷却および乾燥
パージ
フォトリソグラフィーのツールと機器
アトラスコプコのトータルソリューション
アトラスコプコの CDA 向けソリューションは、エネルギー効率の向上によりコスト削減を実現し、使用済みエネルギーの回収によって環境負荷低減にも貢献します。例えば、最新の半導体製造ラインにおける当社の FAB ソリューションを例にすると、当社の貢献は以下のように挙げられます。
最大 1 億 4300 万kWの省エネ
CO2 排出量を 6,500 万kg削減
10年間に 170 万本の木の種を生育させるのに相当
4,300 万Lのガソリンを節約
500 万kgの石炭を燃焼する必要性を削減
2,100 万ユーロのエネルギーコスト削減