반도체 제조 시설의 깨끗하고 건조한 공기를 위한 종합 솔루션
전자 제품은 일상 생활의 필수적인 부분이며 개인적인 활동과 직업적인 활동 모두에 영향을 미칩니다. 전자 제품은 현대 사회를 움직이는 원동력으로, 모든 것을 원활하고 효율적으로 작동하게 합니다.
반도체 제조 시설이란 무엇인가?
반도체 제조 시설(FAB)로 알려진 전문 시설은 반도체 및 전자 제품을 제조합니다. 이러한 공장은 첨단 기술을 사용하여 최고의 생산 품질을 보장합니다.
청정 건조 공기(CDA)에 중점을 둡니다
반도체 생산에서 중요한 구성 요소는 청정 건조 공기(CDA) 설비입니다. 여기에는 컴프레서 바닥과 드라이어/필터 바닥이 포함됩니다. 이 공정에는 생산 환경에 필수적인 최적의 공기 순도를 보장하기 위한 일련의 단계가 포함됩니다.
최적의 공기 순도를 위한 흐름
인증 받은 깨끗하고 건조한 무급유식 공기를 만드는 과정에는 여러 단계가 포함됩니다.
- 주변 공기
초기 공기 순도 수준이 측정됩니다. - 압축 포화 공기
공기가 압축되어 공기 중의 상대 습도와 오염물질 농도가 증가합니다. - 사전 여과된 포화 공기
공기가 드라이어로 이동하기 전에 입자가 드라이어로 유입되지 않도록 첫 번째 기본 여과가 수행됩니다. - 사전 냉각된 건조 공기
흡착식 드라이어는 공기 중의 습도를 -100°C의 압력 이슬점(PDP)까지 낮춥니다. - 여과된 건조 공기
드라이어 뒤에는 모든 먼지 캐리오버를 포집하는 여과 후의 첫 번째 단계가 있습니다. 이 필터 뒤에는 최종 입자를 제거하고 0.01um까지 공기 품질을 보장하는 절대 최종 여과 단계가 있습니다.
핵심 적용 분야 안내
CDA는 다음을 포함한 반도체 산업 내의 다양한 적용 분야에서 필수적입니다.
공구의 냉각 및 건조
퍼징(Purging)
포토리소그래피의 도구 및 장비
아트라스콥코 종합 솔루션
CDA를 위한 아트라스콥코의 완벽한 솔루션은 에너지 효율에 대한 비용을 절감하고 사용된 에너지를 회수하여 환경을 돕는 많은 기회를 제공합니다. 현대식 반도체 생산 라인에서 당사의 FAB 솔루션 중 하나를 예로 들면, 당사의 기여도를 다음과 같이 나열할 수 있습니다.
최대 143백만 킬로와트의 에너지 절감
CO2 배출량 6,500만 킬로그램 감소
10년 동안 성장하는 170만 개 규모의 나무 묘목
4천3백만 리터의 연료 절감
500만 킬로그램의 석탄 연소 필요성 감소
2,100만 유로의 에너지 비용 절감