Оборудование для производства полупроводников – почему важна отслеживаемость

Для тех, кто изготавливает оборудование для производства полупроводников, возможность отслеживать свою продукцию по всей сборочной линии и цепочке поставок имеет решающее значение для успеха производственного процесса. Итак, почему отслеживаемость так важна в этой современной отрасли?

Сколько раз вы слышали выражение «мы всегда будем ошибаться, мы всего лишь люди»? И хотя это точное заявление, ошибки при производстве полупроводников не только очень дорогие, но и могут оказать огромное влияние на производительность. Особенно учитывая то, что производство некоторых полупроводников занимает месяцы. Производственный процесс для преобразования кремниевых пластин в полупроводники почти на 100% автоматизирован, но сборка оборудования, используемого для их производства, как правило, нет. 

На многих предприятиях по производству оборудования для изготовления полупроводников в настоящее время требуются тысячи винтов, которые вручную устанавливаются оператором. Игнорируя назначение оборудования (полировка, травление, осаждение, осмотр и т. д.), ожидается, что абсолютно каждый винт должен быть надежно закреплен, чтобы обеспечить правильную работу производственного оборудования.

Для оборудования, используемого в чувствительных процессах, например, для машин CMP (химико-механическая планаризация поверхности), может потребоваться более 100 крепежных деталей на полировальную головку. В целях контроля качества или в случае любой будущей претензии по качеству необходимо задать следующие вопросы:

• Как проверить правильность затяжки каждого из этих винтов?
• Как убедиться в том, что оператор не упускает или не пропускает позиции сборки?

Очевидно, что внедрение системы или сборочного решения, обеспечивающего полную отслеживаемость процессов такого типа, может значительно улучшить их. С помощью интеллектуальных встроенных инструментов можно избежать проблем с качеством, таких как незатянутые или отсутствующие винты, перекосы резьбы и выскальзывание наконечника отвертки. Такие инструменты не только обеспечивают качество затяжки, но и предоставляют анализ данных и полную отслеживаемость.

Например, при использовании беспроводного инструмента Tensor IxB компании «Атлас Копко» процесс сборки может начаться со сканирования оператором серийного номера блока, который автоматически выберет последовательность сборки. Последовательность сборки позволяет оператору не только считать винты, но и переключаться между различными программами, если это необходимо. Оператор может быть уверен в правильности сборки каждого винта благодаря визуальной информации, отображаемой на дисплее инструмента. Наконец, вся информация по затяжке будет представлена в отчете и записана в целях обеспечения качества.

Сложность является проблемой не только при производстве полупроводникового оборудования, но и когда эти машины требуют профилактического технического обслуживания. Для производства пластин, которые в конечном итоге становятся полупроводниками, полупроводниковая промышленность использует ряд процессов. Эти чрезвычайно сложные и взаимосвязанные процессы требуют многочисленных контрольных точек и этапов проверки.

Первая часть уравнения заключается в обеспечении правильной сборки этих машин с самого начала, чтобы производительность во время операций соответствовала ожиданиям. Вторая часть относится к обеспечению надежности оборудования, что требует профилактического обслуживания в соответствии со спецификациями, указанными в руководстве.

Непредвиденные простои или отказ производственного оборудования для любого производителя в любой отрасли могут быть катастрофическими, однако это может быть особенно опасным для производителей полупроводников. Когда речь заходит о техническом обслуживании, необходимо ответить на несколько ключевых вопросов:

• Как проводить профилактическое техническое обслуживание, чтобы убедиться, что оператор соблюдает каждый этап данного процесса?
• Как записать, что оператор выполнил эти задачи?
• И, самое главное, как убедиться, что каждый винт был снят и установлен на место в соответствии с техническими требованиями? 

Именно здесь внедрение программных решений «Атлас Копко», таких как ToolsNet 8 (решение для управления данными) и Scalable Quality Solution (SQS), может обеспечить преимущества как для отслеживания, так и для успешного профилактического обслуживания.

Рассмотрим упомянутый ранее процесс полировки CMP в качестве примера. Для выполнения профилактического технического обслуживания (PM) данного оборудования оператор должен выполнить несколько этапов:

• Удалить более 100 винтов в определенной последовательности
• Снять и заменить компоненты
• Установить более 100 винтов на место в определенной последовательности
• Выполнить калибровку
• Выполнить проверку

При выполнении этого процесса PM вручную не редки случаи, когда технические специалисты сталкиваются с травмами и мышечной болью в результате использования ручных динамометрических ключей. Этот процесс также довольно масштабный, поэтому может занять более двух часов из-за количества крепежных деталей, которые необходимо снять и установить на место. Это снижает эффективность процесса, что также приводит к увеличению времени простоя производственной линии.

Представьте, что вместо выполнения профилактического технического вручную обслуживание мобильная тележка для инструментов «Атлас Копко» подготовлена в соответствии со всем оборудованием и принадлежностями, необходимыми для качественного и эффективного выполнения этой работы. Этот тип станции является общепринятым для полупроводниковой промышленности и обычно включает следующие инструменты и решения:

• Беспроводные инструменты
• Промышленный ПК для предоставления указаний оператору и сбора данных
• Другие принадлежности для обратной связи с оператором

Благодаря использованию интеллектуальных аккумуляторных инструментов операторы могут избежать травм. Кроме того, инструмент ToolsNet 8 компании «Атлас Копко» позволяет пользователям записывать и сохранять значения каждой затяжки, чтобы при необходимости создавать отчеты в целях обеспечения качества. В сочетании с решением Scalable Quality Solution компании «Атлас Копко» правильное выполнение процесса технического обслуживания гарантировано. 

Чтобы узнать больше о том, как компания «Атлас Копко» может помочь отрасли производства полупроводников, нажмите здесь.