CDA clean dry air Elektronik och halvledare Electronics and semiconductor Luftkvalitet Produktkvalitet
Våra totallösningar för ren torr luft vid halvledartillverkning
Elektronik är en integrerad del av vårt dagliga liv och påverkar både personliga och yrkesmässiga aktiviteter. De är drivkraften bakom det moderna samhället och får allt att fungera smidigt och effektivt.
Vad är halvledartillverkning?
Fokus på ren torr luft (CDA)
En kritisk komponent vid halvledartillverkning är installationen för ren torr luft (CDA). Detta inkluderar kompressorgolvet och tork-/filtergolvet. Processen omfattar en rad steg för att säkerställa optimal luftrenhet, vilket är avgörande för produktionsmiljön.
Flödet för optimal luftrenhet
Resan mot certifierad ren, torr och oljefri luft omfattar flera steg:
- Omgivningstemperatur
Initiala luftrenhetsnivåer mäts. - Trycksatt mättad luft
Luften komprimeras, vilket ökar den relativa luftfuktigheten och koncentrationen av föroreningar i luften - Förfiltrerad mättad luft
Innan luften leds till torken görs en första grovfiltrering för att undvika att partiklarna kommer in i torken - Förkyld torr luft
Sorptionstorken minskar luftens luftfuktighet till en tryckdaggpunkt (PDP) på -100 °C - Filtrerad torr luft
Efter torken finns det ett första steg av efterfiltrering för att fånga upp allt damm som överförs. Bakom filtret finns fortfarande ett absolut slutligt filtreringssteg för att ta bort de sista partiklarna och garantera en luftkvalitet ned till 0,01 μm.
Demonstration av säkerhetskritiska tillämpningar
CDA är avgörande i olika tillämpningar inom halvledarindustrin, bland annat:
Kylning och torkning av verktyg
Avluftning
Verktyg och utrustning inom fotolitografi
Våra totallösningar
Atlas Copcos kompletta lösningar för CDA sparar pengar på energieffektivitet och har många möjligheter att hjälpa miljön genom att återvinna den energi som används. Om vi tar det här exemplet för en av våra FAB-lösningar i en modern halvledarproduktionslinje kan du lista våra bidrag enligt följande:
Sparar upp till 143 miljoner kilowatt energi
Reducerar CO2-utsläppen med 65 miljoner kilogram
Motsvarar att odla 1,7 miljoner trädplantor i 10 år
Sparar 43 miljoner liter bensin
Minskar behovet av att bränna 5 miljoner kilogram kol
Sparar 21 miljoner euro i energikostnader