โซลูชันแบบครบวงจรสําหรับอากาศที่สะอาดและแห้งในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่วนประกอบสําคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือการติดตั้งระบบอากาศแห้งสะอาด (CDA) ซึ่งรวมถึงพื้นเครื่องอัดอากาศหรือปั๊มลม และพื้นเครื่องทำลมแห้ง/ตัวกรอง กระบวนการนี้เกี่ยวข้องกับขั้นตอนต่างๆ เพื่อให้แน่ใจถึงความบริสุทธิ์ของอากาศที่เหมาะสมที่สุด ซึ่งเป็นสิ่งสําคัญสําหรับสภาพแวดล้อมการผลิต

เส้นทางสู่อากาศที่สะอาด แห้ง และปราศจากน้ํามันที่ได้รับการรับรองนั้นเกี่ยวข้องกับหลายขั้นตอน:
 

1. อากาศแวดล้อม 
   ระดับความบริสุทธิ์ของอากาศเริ่มต้นจะถูกวัด 
2. อากาศอัดอิ่มตัว 
   อากาศถูกอัด ทําให้ความชื้นสัมพัทธ์และความเข้มข้นของสิ่งปนเปื้อนในอากาศเพิ่มขึ้น 
3. อากาศอิ่มตัวที่กรองเบื้องต้น
   ก่อนที่อากาศจะเข้าสู่เครื่องทำลมแห้ง จะมีการกรองหยาบขั้นแรกเพื่อไม่ให้อนุภาคเหล่านั้นเข้าสู่เครื่องทำลมแห้ง
4. อากาศแห้งที่ผ่านการลดอุณหภูมิล่วงหน้า 
   เครื่องทำลมแห้งชนิดใช้สารดูดความชื้นจะลดความชื้นในอากาศลงจนถึงจุดน้ำค้างแรงดัน (PDP) ที่ -100°C 
5. อากาศแห้งที่กรองแล้ว 
   หลังเครื่องทําลมแห้งจะมีขั้นตอนแรกของการกรองส่วนหลังเพื่อดักจับฝุ่นที่ตกค้างอยู่ทั้งหมด หลังตัวกรองนั้น เรายังคงมีขั้นตอนการกรองขั้นสุดท้ายเพื่อขจัดอนุภาคขั้นสุดท้ายและรับประกันคุณภาพอากาศที่ต่ำถึง 0.01um

CDA จำเป็นอย่างยิ่งในการใช้งานต่างๆ ภายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึง:
 

• การทําความเย็นและการเป่าแห้งของเครื่องมือ

• การชำระล้าง

• เครื่องมือและอุปกรณ์ในกระบวนการโฟโตลิโธกราฟี

โซลูชันครบวงจรของ Atlas Copco สําหรับ CDA ช่วยประหยัดเงินในด้านประสิทธิภาพการใช้พลังงานและมีโอกาสมากมายที่จะช่วยสิ่งแวดล้อมโดยการนำพลังงานที่ใช้ไปกลับคืนมา เราจะยกตัวอย่างที่ได้ประโยชน์จากโซลูชัน FAB ของเราในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่ ตัวเลขสนับสนุนข้อมูลมีดังต่อไปนี้:

• ประหยัดพลังงานได้ถึง 143 ล้านกิโลวัตต์

• ลดการปล่อยก๊าซ CO2 ลง 65 ล้านกิโลกรัม

• เทียบเท่ากับการปลูกต้นไม้ 1.7 ล้านต้นเป็นเวลา 10 ปี 

• ประหยัดน้ำมันเชื้อเพลิง 43 ล้านลิตร

• ลดความจําเป็นในการเผาถ่านหิน 5 ล้านกิโลกรัม

• ประหยัดต้นทุนด้านพลังงาน 21 ล้านยูโร