CDA clean dry air Elektronik parçalar ve yarı iletkenler Electronics and semiconductor Hava Kalitesi Ürün Kalitesi
Yarı iletken üretim tesislerinde Temiz Kuru Hava için toplam çözümlerimiz
Elektronik ürünler, günlük hayatımızda hem kişisel hem de profesyonel faaliyetlerimizi etkileyen ayrılmaz bir parçasıdır. Modern dünyanın arkasındaki her şeyin sorunsuz ve verimli bir şekilde ilerlemesini sağlayan itici güçtür.
Yarı iletken üretim tesisleri (FAB'lar) nelerdir?
Temiz Kuru Havaya (CDA) Odaklanma
Yarı iletken üretiminde kritik bir bileşen Temiz Kuru Hava (CDA) sistemidir. Bu sistemde kompresör odası ve kurutucu/filtre odası da yer alır. Proseste, üretim ortamı için gerekli olan optimum hava saflığını sağlamak için bir dizi adım yer alır.
Optimum hava saflığı için akış
Sertifikalı temiz, kuru ve yağsız havaya ulaşma yolculuğu birkaç aşamadan oluşur:
- Ortam Havası
Başlangıç hava saflığı seviyeleri ölçülür. - Soğutulmuş Doymuş Hava
Hava sıkıştırılır, havanın içindeki bağıl nem ve kirletici konsantrasyonu artar. - Önceden Filtrelenmiş Doymuş Hava
Hava kurutucuya gitmeden önce, bu partiküllerin kurutucuya girmesini önlemek için ilk kaba filtreleme yapılır. - Önceden Soğutulmuş Kuru Hava
Desikantlı kurutucu, havadaki nemi -100°C Basınç Çiy Noktasına (PDP) düşürür. - Filtrelenmiş Kuru Hava
Kurutucudan sonra, tüm taşınan tozu yakalamak için filtreleme sonrası bir ilk aşama vardır. Bu filtrenin arkasında, son partikülleri gidermek ve 0,01 μm'ye kadar hava kalitesini garanti etmek için bir mutlak son filtreleme adımı da yer alır.
Kritik önem taşıyan uygulamalar
Temiz Kuru Hava (CDA), aşağıdakiler dahil olmak üzere yarı iletken endüstrisindeki çeşitli uygulamalarda çok önemlidir:
Aletleri soğutma ve kurutma
Boşaltma
Fotolitografide kullanılan araçlar ve ekipmanlar
Toplam çözümlerimiz
Atlas Copco'nun Temiz Kuru Hava (CDA) için eksiksiz çözümleri, enerji verimliliğinde maddi tasarrufu sağlar ve kullanılan enerjiyi geri kazanarak çevreye yardımcı olmak için birçok fırsat sunar. Örnek olarak modern bir yarı iletken üretim hattındaki FAB çözümlerimizden birine bakarsak aşağıdaki faydaları sağladığımız görülecektir:
143 milyon kilovata kadar enerji tasarrufu
CO2 emisyonlarını 65 milyon kilogram azaltma
10 yıl boyunca 1,7 milyon ağaç fidesi yetiştirmeye eşdeğer
43 milyon litre benzin tasarrufu
Kömür yakma ihtiyacını 5 milyon kilogram azaltma
Enerji maliyetlerinde 21 milyon avro tasarruf