CDA clean dry air Електроприлади і напівпровідники Electronics and semiconductor Якість повітря Якість продукції
Наші комплексні рішення для чистого сухого повітря на виробництвах напівпровідників
Електроніка є невід'ємною частиною нашого повсякденного життя, яка впливає як на особисту, так і на професійну діяльність. Вона є рушійною силою сучасного світу, завдяки якій все працює безперебійно та ефективно.
Що таке виробництво напівпровідників?
Фокус на чистому сухому повітрі (CDA)
Важливим компонентом у виробництві напівпровідників є установка чистого сухого повітря (CDA). Вона включає компресорний цех та цех сушіння/фільтрації. Процес передбачає низку етапів для забезпечення оптимальної чистоти повітря, що є надзвичайно важливим для виробничого середовища.
Потік для оптимальної чистоти повітря
Досягнення сертифікованого чистого, сухого та безмасляного повітря передбачає кілька етапів:
- Навколишнє повітря
Вимірюються початкові рівні чистоти повітря. - Стиснене насичене повітря
Повітря стиснене, що збільшує відносну вологість і концентрацію забруднювачів у повітрі - Попередньо відфільтроване насичене повітря
Перш ніж повітря потрапляє до осушувача, виконується перша груба фільтрація, щоб уникнути потрапляння цих частинок в осушувач - Попередньо охолоджене сухе повітря
Осушувач знижує вологість повітря до точки роси під тиском (PDP) – 100 °C - Відфільтроване сухе повітря
Після осушувача відбувається перший етап постфільтрації для вловлювання всього пилу, що залишився. За цим фільтром знаходиться остаточний етап фільтрації, який видаляє останні частинки і гарантує якість повітря до 0,01 мкм.
Продемонстровано критичні застосування
CDA є необхідним в різних сферах застосування в галузі виробництва напівпровідників, зокрема:
Охолодження та сушіння інструментів
Продування
Інструменти та обладнання для фотолітографії
Наші комплексні рішення
Комплексні рішення Atlas Copco для CDA дозволяють заощадити кошти на енергоефективності та мають багато можливостей для захисту навколишнього середовища завдяки рекуперації використаної енергії. Якщо взяти за приклад одне з наших рішень FAB для сучасної лінії з виробництва напівпровідників, можна перелічити такі наші досягнення:
Заощадження до 143 мільйонів кіловат енергії
Зменшення викидів CO2 на 65 мільйонів кілограмів
Еквівалентно вирощуванню 1,7 мільйона саджанців дерев протягом 10 років
Економія 43 мільйонів літрів бензину
Зменшення потреби у спалюванні 5 мільйонів кілограмів вугілля
Економія 21 мільйон євро на енерговитратах