Các giải pháp toàn diện cho khí khô sạch tại nhà máy sản xuất chất bán dẫn

Một thành phần quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn là hệ thống Khí khô sạch (CDA). Hệ thống này bao gồm sàn máy nén khí và sàn máy sấy/bộ lọc. Quy trình bao gồm một loạt các bước nhằm đảm bảo độ tinh khiết tối ưu của không khí - yếu tố thiết yếu cho môi trường sản xuất.

Hành trình đạt được chứng nhận khí sạch, khô và không dầu bao gồm nhiều giai đoạn:
 

1. Không khí môi trường 
   Mức độ tinh khiết ban đầu của không khí sẽ được đo. 
2. Khí nén bão hòa 
   Không khí được nén, làm tăng độ ẩm tương đối và nồng độ tạp chất trong không khí 
3. Khí bão hòa được lọc sơ bộ
   Trước khi không khí đi vào máy sấy, quá trình lọc thô đầu tiên được thực hiện để ngăn các hạt lớn đi vào máy sấy
4. Khí khô được làm mát trước 
   Máy sấy hút ẩm giảm độ ẩm trong không khí xuống đến Điểm sương áp suất (PDP) -100°C 
5. Khí khô đã lọc 
   Sau đi qua máy sấy, bước lọc sau đầu tiên sẽ diễn ra nhằm giữ lại toàn bộ hạt bụi còn sót lại. Phía sau bộ lọc này, chúng tôi vẫn còn một bước lọc tuyệt đối cuối cùng để loại bỏ toàn bộ các hạt và đảm bảo chất lượng không khí đạt đến mức 0,01um.

CDA là yếu tố cần thiết trong nhiều ứng dụng khác nhau của ngành công nghiệp bán dẫn, bao gồm:
 

• Làm mát và sấy khô dụng cụ

• Thanh lọc

• Dụng cụ và thiết bị quang khắc

Các giải pháp hoàn chỉnh của Atlas Copco cho CDA giúp tiết kiệm chi phí nhờ hiệu quả năng lượng cao và tiềm năng bảo vệ môi trường thông qua việc thu hồi năng lượng đã sử dụng. Nếu lấy một trong các giải pháp FAB của chúng tôi trong dây chuyền sản xuất chất bán dẫn hiện đại làm ví dụ, có thể liệt kê những đóng góp của chúng tôi như sau:

• Tiết kiệm đến 143 triệu kilowatt năng lượng

• Giảm 65 triệu kg khí thải CO2

• Tương đương với việc trồng 1,7 triệu cây con trong 10 năm 

• Tiết kiệm 43 triệu lít xăng

• Giảm nhu cầu đốt 5 triệu kg than

• Tiết kiệm 21 triệu euro chi phí năng lượng