Halvledarbranschen och elektronikindustrin är helt avgörande för att vi ska kunna fortsätta att utveckla teknik och innovationer som förändrar vårt dagliga liv. Smarttelefoner, datorer, tv-spel och annat är bland den mest kraftfulla och avancerade teknik som någonsin utvecklats. Kärnan i den här tekniken är ett litet mikrochipp. Trots att de är minimala är de här chipen bland den mest komplexa teknik som finns idag, och i tillverkningen används en mycket känslig produktionsprocess.
Tillverkningen av halvledare är en av världens snabbast växande branscher, eftersom nya produkter ständigt måste vara snabbare och ha bättre specifikationer. I den här processen behövs en tillförlitlig och stabil vakuumtillförsel. Det behövs ett rent och konsekvent centralvakuum för testning, hantering, plockning, placering och förpackning. Därför är det viktigt att välja rätt vakuumpumpslösning till produktionsprocessen.
Behovet av vakuum vid tillverkning av halvledare
Centralvakuum används för all plockning och hantering i tillverkningen av integrerade kretsar, som hantering, skärning, formning och testning. Eftersom ett halvledarchip innehåller många komponenter måste halvledartillverkningen vara extremt exakt, och vakuum har en avgörande roll inom hela produktionen.
Vakuumnivån är mellan 100 och 400 mbar abs. för att ge rätt nivå för all utrustning och säkerställa att backflödet inte ger någon kontaminering. En typisk halvledarfabrik kan behöva ett flöde mellan 2 000 och 8 000 m3/h, men en stor fabrik kan behöva 12 000 m3/h. Fabrikerna är igång dygnet runt och centralvakuumet får inte sluta fungera. Därför är det ett måste med redundans och tillförlitlighet.
Energieffektiva vakuumpumpar från Atlas Copco för halvledarindustrin
Atlas Copcos GHS VSD⁺-vakuumpump med roterande skruv är ett populärt val inom halvledarindustrin eftersom VSD+ är mer än bara drivning med variabelt varvtal. GHS VSD+ har en egenutvecklad logisk styrenhet och programvara som ger konsekvent vakuumnivå i hela fabriken. Vår intelligenta vakuumpump är en grön innovationsledare som sänker energiförbrukningen och miljöpåverkan betydligt i en hållbar tillverkning.
Atlas Copco har även ett komplett sortiment med torra DZS VSD+-vakuumpumpar med kloteknik och LRP VSD+-vakuumpumpar med vätskering. Den hållbara och beprövade design passar perfekt på mindre fabriker och kan direkt ersätta befintliga pumpar, eller där det är viktigare med lägre anskaffningskostnad än kostnaden för den totala livscykeln. Kapacitetsområdet och VSD+ -tekniken hos alla Atlas Copcos vakuumpumpar gör att de passar perfekt till centralvakuumsystem, bland annat det centralvakuum som används på anläggningar för halvledartillverkning.
Atlas Copcos innovativa system för oljekvarhållning
I ett centralvakuumnätverk rör sig luftmolekylerna i vakuumpumpens riktning, och vid den avsedda vakuumnivån är flödets densitet fortfarande hög. Därför kan inte oljemolekyler eller fukt tränga in i processen. Vakuumpumpar är ofta placerade långt från produktionshallarna i ett särskilt arbetsrum. Då kan du välja pumpteknik utan att bry dig om kolväteföroreningar i nätverket. Du bör dock vara noga med miljön vid vakuumpumpens utloppssida.
Atlas Copcos vakuumpumpar, som GHS VSD+-serien med oljetätade vakuumpumpar med roterande skruv har ett förstklassigt oljekvarhållningssystem. Om det behövs kan du montera fler filtreringssystem vid pumpens utlopp för att säkerställa att inga föroreningar tränger in i atmosfären, samt avancerade system för luftcirkulation/filtrering kring fabriken.
Om du behöver en klass 0-certifierad vakuumpump med torrteknik så har Atlas Copco även den torra DZS VSD+-vakuumpumpen med kloteknik.
Ett konsekvent vakuum
Halvledarfabriker har tidigare haft problem med att vakuumnivån i centralvakuumet har varierat. Prestandan hos konventionella pumpar försämras på grund av slitage och miljöförhållanden som temperaturvariationer.
Designen hos Atlas Copcos oljesmorda GHS VSD+ med roterande skruv ger konsekventa prestanda oavsett miljöförhållanden. Den hastighet som behövs i processen är alltid tillgänglig. GHS VSD+ har Atlas Copcos VSD+-teknik som gör att varvtalet ökar och minskar automatiskt beroende på vakuumbehovet, och du får det börvärde som behövs med maximal effektivitet.
Utforska vårt sortiment med vakuumpumpar för halvledartillverkning
DZS VSD⁺ – torr vakuumpump med kloteknik (variabelt varvtal)
Atlas Copcos vakuumpumpar har alltid erbjudit lägre livscykelkostnader, högre prestanda, lägre energiförbrukning och enkelt underhåll. Med den intelligenta vakuumpumpen DZS VSD⁺ får du det och mycket mer. Föreställ dig intelligens, optimering, en plug-and-play-pump, digitalisering och en mobilapp.
