Les industries des semi-conducteurs et de l'électronique jouent un rôle déterminant dans le développement continu de technologies et d'innovations qui transforment notre quotidien. Les smartphones, les PC, les consoles de jeux et bien plus encore font partie des technologies les plus puissantes et les plus complexes jamais développées. Au cœur de cette technologie se trouve une micropuce. Malgré leur taille, ces puces font partie des équipements les plus complexes actuels et leur fabrication nécessite un procédé de production extrêmement sensible.
La fabrication de semi-conducteurs fait partie des industries qui évoluent le plus rapidement au monde, avec de nouveaux produits exigeant en permanence des vitesses et des spécifications plus élevées. Ce procédé nécessite à son tour une alimentation en vide fiable et constante. Il est nécessaire de disposer d'un vide domestique, propre et homogène pour les opérations de test, de préhension, de mise en place et d'emballage au sein de l'industrie. Par conséquent, le choix de la bonne solution de pompe à vide est crucial pour le procédé de production.
Le besoin de vide dans la fabrication de semi-conducteurs
Le vide domestique est utilisé dans toutes les opérations de mise en place et de manipulation, pour tous les procédés de fabrication de « circuit intégré », tels que la manipulation, la découpe, le formage, les tests, etc. Etant donné qu'une puce semi-conductrice comprend de nombreux composants, il est essentiel de fabriquer des semi-conducteurs avec une extrême précision et le vide est crucial à chaque étape de la production.
Le niveau de vide est compris entre 100 et 400 mbar abs. pour assurer le niveau correct sur chaque équipement et pour éviter toute contamination due au reflux. Une usine de semi-conducteurs type a besoin d'un débit de 2 000 à 8 000 m3/h, mais une plus grande usine peut avoir besoin de plus de 12 000 m3/h. Les usines fonctionnent 24 h/24, 7 j/7 : une défaillance du vide domestique n'est pas acceptable. Par conséquent, la redondance et la fiabilité sont indispensables.
Pompes à vide économes en énergie d'Atlas Copco pour l'industrie des semi-conducteurs
La pompe à vide à vis rotative GHS VSD⁺ d'Atlas Copco est un choix populaire dans l'industrie des semi-conducteurs, car le système VSD+ va plus loin que le simple « entraînement à vitesse variable ». La GHS VSD+ est équipée d'un contrôleur et d'un logiciel logiques exclusifs qui fournissent un niveau de vide constant dans toute l'usine. Notre pompe à vide intelligente est leader en matière d'innovation écologique, car elle réduit considérablement la consommation d'énergie, et par conséquent, l'impact environnemental, pour favoriser le développement durable.
Atlas Copco propose également une gamme complète de pompes à vide sèches à becs DZS VSD+ et de pompes à vide à anneau liquide LRP VSD+. Leurs conceptions durables et éprouvées sont adaptées aux petites opérations de fabrication, aux remplacements directs de pompes existantes ou aux entreprises qui privilégient un coût d'acquisition faible plutôt qu'un coût total du cycle de vie faible. La plage de capacité et la technologie VSD+ de toutes les pompes à vide d'Atlas Copco en font la solution idéale pour les systèmes de vide centraux, y compris le vide domestique que l'on trouve chez les fabricants de semi-conducteurs.
Bénéficiez des systèmes de rétention d'huile innovants d'Atlas Copco
Dans un réseau de vide domestique, les molécules d'air se déplacent vers la pompe à vide. Au niveau de vide prévu, la densité du débit est considérable. C'est pour cette raison que les molécules d'huile et l'humidité ne peuvent pas migrer vers le procédé. Les pompes à vide sont souvent situées loin des salles de production, dans un local technique dédié. Cela permet de choisir la technologie de la pompe sans se soucier de la contamination du réseau par des hydrocarbures. Cependant, il convient tout de même d'accorder une attention particulière à l'environnement du côté refoulement des pompes à vide.
Les pompes à vide d'Atlas Copco, telles que la gamme de pompes à vide à vis rotative lubrifiées GHS VSD+, sont équipées de systèmes de rétention d'huile de qualité supérieure. Si nécessaire, des systèmes de filtration supplémentaires au niveau de l'échappement de la pompe peuvent être installés pour garantir l'absence de contamination de l'atmosphère, ainsi que des systèmes sophistiqués de circulation/filtration de l'air autour du procédé de fabrication.
Si vous avez besoin d'une pompe à vide à technologie sèche certifiée classe 0, Atlas Copco propose la gamme de pompes à vide sèches à becs DZS VSD+.
Fournir des niveaux de vide constants
Les fabricants de semi-conducteurs ont toujours eu des problèmes avec leur vide domestique en raison de fortes fluctuations du niveau de vide. Les performances des pompes classiques se dégradent en raison de l'usure et des conditions de travail telles que les variations de température.
La conception des vis rotatives lubrifiées GHS VSD+ d'Atlas Copco garantit des performances constantes quelles que soient les conditions de travail. Quelle que soit la vitesse souhaitée pour le procédé, elle est toujours disponible. Equipée de la technologie VSD+ d'Atlas Copco, la GHS VSD+ accélère et ralentit automatiquement pour s'adapter à la demande variable de vide, en maintenant le point de consigne requis avec une efficacité maximum.
Découvrez notre gamme de pompes à vide pour la fabrication de semi-conducteurs
Pompe à vide à anneau liquide intelligente
La nouvelle étape majeure pour la technologie de l'anneau liquide : la gamme LRP 700-1000 VSD⁺ est parfaitement adaptée pour les applications sévères et humides même avec une charge de vapeur extrême et des températures élevées. Elle peut traiter aussi bien les liquides et solides générés par le procédé.
DZS VSD⁺ - Pompe à vide sèche à becs (vitesse variable)
Les pompes à vide d'Atlas Copco ont toujours offert des coûts de possession réduits, des performances accrues, une consommation d'énergie réduite et une maintenance simplifiée. Désormais, grâce à la pompe à vide intelligente DZS VSD⁺, Atlas Copco est en mesure de vous offrir bien plus. Pensez à l'intelligence, à l'optimisation, à une pompe à vide prête à l'emploi, à la numérisation et à une application mobile.
