Die Halbleiter- und Elektronikbranche ist ein wesentlicher Bestandteil der anhaltenden Entwicklung von Technologien und Innovationen, die unser tägliches Leben verändern. Smartphones, PCs, Spielkonsolen und mehr gehören zu den leistungsfähigsten und kompliziertesten Technologien, die jemals entwickelt wurden. Das Herzstück dieser Technologie ist ein winziger Mikrochip. Obwohl diese Chips sehr klein sind, gehören sie zu den komplexesten Systemen, die es heute gibt, und werden in einem hochempfindlichen Produktionsprozess hergestellt.
Die Halbleiterfertigung gehört zu den sich weltweit am schnellsten entwickelnden Branchen, da neue Produkte ständig höhere Geschwindigkeiten und bessere Spezifikationen erfordern. Dieser Prozess erfordert wiederum eine zuverlässige und stabile Vakuumversorgung. Für Tests, Halten, Bestückung und Verpackung ist in der Branche ein sauberes und stabiles Hausvakuum erforderlich. Daher ist die Auswahl der richtigen Vakuumpumpenlösung für den Produktionsprozess von entscheidender Bedeutung.
Der Vakuumbedarf in der Halbleiterfertigung
Das Hausvakuum wird für alle Bestückungs- und Transportvorgänge jedes Fertigungsprozesses von „integrierten Schaltkreisen“ verwendet, darunter Handhabung, Schneiden, Formen und Testen. Da ein Halbleiterchip zahlreiche Komponenten umfasst, ist eine extrem präzise Herstellung von Halbleitern unerlässlich, und Vakuum ist in jedem Produktionsschritt von entscheidender Bedeutung.
Das Vakuum liegt zwischen 100 und 400 mbar abs., um das richtige Niveau an allen Anlagen zu gewährleisten und eine Verunreinigung durch Rückfluss zu vermeiden. Eine typische Halbleiterfabrik kann einen Volumenstrom von 2000 bis 8000 m3/h, größere mehr als 12000 m3/h erfordern Die Fabriken sind rund um die Uhr in Betrieb, und das Hausvakuum darf nicht ausfallen. Redundanz und Zuverlässigkeit sind daher unerlässlich.
Energieeffiziente Vakuumpumpen von Atlas Copco für die Halbleiterindustrie
Die Schraubenvakuumpumpe GHS VSD⁺ von Atlas Copco ist eine beliebte Wahl in der Halbleiterbranche, da VSD+ mehr als nur eine „variable Drehzahlregelung“ bietet. Die GHS VSD+ ist mit einer proprietären speicherprogrammierbaren Steuerung und Software ausgestattet, die ein konstantes Vakuumniveau in der gesamten Fertigungsstätte bereitstellt. Unsere intelligente Vakuumpumpe ist ein umweltfreundlicher Vorreiter, der den Energieverbrauch erheblich senkt und die Umweltauswirkungen reduziert, um die Nachhaltigkeit zu fördern.
Atlas Copco bietet außerdem ein umfassendes Sortiment an trockenverdichtenden Klauenvakuumpumpen DZS VSD+ und Flüssigkeitsringvakuumpumpen LRP VSD+. Ihre langlebigen, bewährten Konstruktionen eignen sich gut für kleinere Fertigungsbetriebe, für den direkten Austausch von vorhandenen Pumpen oder für Anwendungen, bei denen niedrigere Anschaffungskosten wichtiger als die Lebenszykluskosten sind. Dank des Kapazitätsbereichs und der VSD+-Technologie sind alle Vakuumpumpen von Atlas Copco ideal für zentrale Vakuumsysteme, einschließlich des Hausvakuums in Halbleiterfabriken, geeignet.
Profitieren Sie von den innovativen Ölrückhaltesystemen von Atlas Copco
In einem Hausvakuumnetz bewegen sich die Luftmoleküle in Richtung der Vakuumpumpe, und beim vorgesehenen Vakuumniveau ist der Volumenstrom noch erheblich. Aus diesem Grund können Ölmoleküle und Feuchtigkeit nicht in Richtung des Prozesses migrieren. Vakuumpumpen befinden sich oft weit von den Produktionshallen entfernt in einem speziellen Versorgungsraum. So können Sie die Pumpentechnologie wählen, ohne sich Gedanken über die Verunreinigung des Netzes durch Kohlenwasserstoffe machen zu müssen. Auf die Umgebung auf der Druckseite der Vakuumpumpen sollte jedoch geachtet werden.
Vakuumpumpen von Atlas Copco wie die ölgedichteten Schraubenvakuumpumpen der Serie GHS VSD+ sind mit erstklassigen Ölrückhaltesystemen ausgestattet. Bei Bedarf können zusätzliche Filtersysteme am Pumpenauslass eingebaut werden, um sicherzustellen, dass die Atmosphäre und die anspruchsvollen Umluft-/Filtersysteme der Fabrik nicht verschmutzt werden.
Wenn Sie eine Vakuumpumpe mit zertifizierter trockenverdichtender Technologie der Klasse 0 benötigen, bietet Atlas Copco trockenverdichtende Klauenvakuumpumpen der Baureihe DZS VSD+ an.
Konstantes Vakuum
Halbleiterfabriken hatten in der Vergangenheit Probleme mit ihrem Hausvakuum aufgrund von starken Schwankungen des Vakuumniveaus. Die Leistung herkömmlicher Pumpen nimmt aufgrund von Verschleiß und Umgebungsbedingungen wie Temperaturschwankungen im Laufe der Zeit ab.
Die ölgeschmierte Schraubenkonstruktion der GHS VSD+ von Atlas Copco sorgt für gleichbleibende Leistung unabhängig von den Umgebungsbedingungen. Die für den Prozess ideale Geschwindigkeit ist immer verfügbar. Mit der VSD+-Technologie von Atlas Copco wird die GHS VSD+ automatisch schneller und langsamer, um den schwankenden Vakuumbedarf zu erfüllen und den erforderlichen Sollwert mit maximaler Effizienz beizubehalten.
Entdecken Sie unser Vakuumpumpen-Portfolio für die Halbleiterfertigung
Intelligente Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe
Der nächste große Schritt in der Flüssigkeitsringtechnologie – Die Pumpenserie LRP 700-1000 VSD⁺ ist perfekt für Anwendungen in nassen, feuchten und schmutzigen Umgebungen mit hohen Temperaturen, extremen Dampflasten und sogar flüssigen und festen Bestandteilen aus den Prozessen geeignet.
DZS VSD⁺ – Trockenlaufende Klauenvakuumpumpe (Drehzahlgeregelt)
Die Vakuumpumpen von Atlas Copco haben schon immer niedrigere Lebenszykluskosten, eine höhere Leistung, einen geringeren Energieverbrauch und eine einfache Wartung geboten. Mit der intelligenten Vakuumpumpe DZS VSD⁺ erhalten Sie nicht nur diese Vorteile, sondern weitaus mehr! Dabei spielen Punkte wie Intelligenz, Optimierung, Plug-and-Play-Pumpe, Digitalisierung und eine App für Mobilgeräte eine Rolle.
