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Soluciones de vacío para la fabricación de semiconductores

Los sectores de los semiconductores y la electrónica están transformando nuestras vidas al permitirnos disfrutar de la comodidad de las nuevas tecnologías e innovaciones.

Los sectores de los semiconductores y la electrónica son fundamentales para el desarrollo continuo de tecnologías e innovaciones que están transformando nuestra vida cotidiana. Algunos de los dispositivos tecnológicos más potentes y complejos que se han desarrollado son los smartphones, los ordenadores y los dispositivos de juego, entre otros. La base de esta tecnología es un microchip diminuto. A pesar de ser tan pequeños, estos chips se encuentran entre los equipos más complejos que existen en la actualidad y su fabricación requiere un proceso de producción muy delicado. 

El sector de la fabricación de semiconductores es una de las industrias del mundo que evoluciona más rápidamente, con nuevos productos que exigen continuamente velocidades más rápidas y especificaciones más exigentes. A su vez, este proceso requiere un suministro de vacío fiable y constante. Se requiere un vacío doméstico limpio y uniforme para las operaciones de comprobación, mantenimiento, recogida y colocación y envasado que se realizan en la industria. Por lo tanto, seleccionar la solución de bomba de vacío adecuada es crucial para el proceso de producción.

La necesidad de vacío en la fabricación de semiconductores

El vacío doméstico se utiliza para todas las operaciones de recogida y colocación y manipulación de cualquier proceso de fabricación de "circuitos integrados", como manipulación, corte, moldeo y comprobación, entre otros. Dado que un chip semiconductor incluye numerosos componentes, la necesidad de una fabricación ultraprecisa de semiconductores es esencial y el vacío es crucial en cada paso de la producción.

 

El nivel de vacío oscila entre 100 y 400 mbar absolutos para asegurar el nivel correcto en cada equipo y para garantizar que no haya contaminación por contraflujo. Una fábrica de semiconductores típica puede requerir un caudal de entre 2000 y 8000 m3/h, pero las de mayor tamaño pueden requerir un caudal superior a 12 000 m3/h. Las fábricas están operativas de forma ininterrumpida y el vacío doméstico no puede fallar, por lo que la redundancia y la fiabilidad son imprescindibles.

Bombas de vacío energéticamente eficientes de Atlas Copco para el sector de los semiconductores

La bomba de vacío de tornillo rotativo GHS VSD⁺ de Atlas Copco es una opción popular en el sector de los semiconductores, ya que la tecnología VSD+ es mucho más que un simple "accionamiento de velocidad variable". La GHS VSD+ está equipada con un controlador lógico y un software patentados que proporcionan un nivel de vacío constante en toda la fábrica. Nuestra bomba de vacío inteligente es líder en innovación ecológica y reduce significativamente el consumo de energía, lo que disminuye el impacto medioambiental y fomenta la sostenibilidad.

Atlas Copco también ofrece la gama completa de bombas de vacío de garras secas DZS VSD+ y bombas de vacío de anillo líquido LRP VSD+. Sus diseños duraderos y probados son idóneos para operaciones de fabricación más pequeñas, para sustituciones directas de bombas existentes, o cuando la reducción del coste de adquisición es más importante que el coste total del ciclo de vida. El rango de capacidad y la tecnología VSD+ de todas las bombas de vacío de Atlas Copco las convierten en la opción ideal para los sistemas de vacío centrales, incluido el vacío doméstico que se encuentra en las fábricas de semiconductores. 

Benefíciese de los innovadores sistemas de retención de aceite de Atlas Copco

En una red de vacío doméstica, las moléculas de aire se desplazan en la dirección de la bomba de vacío y, en el nivel de vacío diseñado, la densidad del flujo sigue siendo considerable. Por esta razón, las moléculas de aceite y la humedad no pueden migrar hacia el proceso. Las bombas de vacío suelen estar situadas lejos de las salas de producción en un espacio específico. Esto da libertad para seleccionar la tecnología de las bombas sin preocuparse por la contaminación de la red por hidrocarburos. Sin embargo, se debe prestar atención al entorno en el lado de descarga de las bombas de vacío.

Las bombas de vacío de Atlas Copco, como la gama de bombas de vacío de tornillo rotativo selladas con aceite GHS VSD+, están equipadas con sistemas de retención de aceite superiores. Si es necesario, se pueden instalar sistemas de filtración adicionales en el escape de la bomba para garantizar que no se añada contaminación a la atmósfera, así como sofisticados sistemas de circulación/filtración de aire alrededor de la fábrica.

 

Si lo que necesita es una bomba de vacío de tecnología seca certificada de Clase 0, Atlas Copco ofrece la línea de productos de bombas de vacío de garras secas DZS VSD+.

Suministro de niveles de vacío uniformes

Tradicionalmente, las fábricas de semiconductores han tenido problemas con el vacío doméstico debido a las grandes fluctuaciones del nivel de vacío. El rendimiento de las bombas convencionales se degrada debido al desgaste y a las condiciones ambientales, como las variaciones de temperatura.

 

El diseño de la bomba de tornillo rotativo lubricada con aceite GHS VSD+ de Atlas Copco mantiene un rendimiento constante independientemente de las condiciones ambientales. La velocidad deseada para el proceso está siempre disponible. Equipada con la tecnología VSD+ de Atlas Copco, la GHS VSD+ acelera y ralentiza automáticamente para adaptarse a la demanda variable de vacío, manteniendo el punto de ajuste necesario con la máxima eficiencia.

Conectividad inteligente

Las bombas de vacío VSD+ de Atlas Copco están diseñadas para ofrecer una conectividad inteligente a través de protocolos de comunicación de última generación, por lo que están preparadas para la Industria 4.0.

El controlador de bombas de vacío HEX@™ de Atlas Copco permite que sus bombas estén realmente listas para su uso y vayan un paso más allá, ya que le permite integrarlas y conectarlas al nivel deseado, en función de las demandas del proceso. Integra la solución de vacío a la perfección con el resto de los procesos de la fábrica y se comunica con los sistemas de la planta (y con usted) antes de que sea necesario su mantenimiento.

Recuperación de energía

Hasta el 90 % de la energía eléctrica utilizada por una solución de vacío se convierte en calor. El sistema de recuperación de energía integrado de Atlas Copco permite recuperar hasta el 75 % de esa energía en forma de agua caliente sin que afecte al rendimiento de la máquina.

El uso eficiente de la energía recuperada proporciona un importante ahorro de costes y un retorno de la inversión más rápido, y puede ayudarle a cumplir sus compromisos medioambientales y de gestión energética de acuerdo con la norma ISO 50001/14001.

Mantenimiento y reparación sencillos

En Atlas Copco nos preocupamos por la continuidad de su producción y sabemos lo que necesita para que sus bombas de vacío funcionen de forma fiable. Por este motivo, queremos ser su socio de mantenimiento de bombas de vacío. La amplia experiencia de nuestros especialistas en vacío nos permite llevar a cabo el mantenimiento periódico, la resolución de problemas, la reparación y la puesta en marcha de su equipo de vacío en cualquier parte del mundo y siempre con las mejores prácticas.

Nuestros equipos de expertos se aseguran de superar sus expectativas en cuanto al rendimiento de sus bombas de vacío, ya sea ofreciendo servicios de mantenimiento periódico o atendiendo a sus necesidades concretas de forma personalizada para satisfacer sus requisitos de mantenimiento.