Air propre et sec (CDA) pour l'industrie des semi-conducteurs
Tout ce que vous devez savoir sur l'air propre et sec (CDA)
Qu'est-ce que le CDA ?
« CDA » signifie Clean Dry Air (air propre et sec). Il s'agit d'une norme de qualité de l'air comprimé pour l'industrie des semi-conducteurs. Les niveaux de qualité de l'air nécessaires dans ce secteur sont bien supérieurs à ceux de la plupart des applications. Et pour cause : il n'existe pratiquement aucune autre industrie où les contaminations peuvent avoir des conséquences aussi dévastatrices et coûteuses.
En outre, bien que certaines applications requièrent de l'air comprimé sec, sans huile ou sans poussière, l'industrie des semi-conducteurs exige la présence de ces trois critères à la fois. En effet, toute trace d'humidité, d'huile ou de particules/poussière dans la salle blanche peut endommager un lot entier de semi-conducteurs et, pire encore, les composants en acier inoxydable des machines qui les produisent. Cela peut coûter des millions d'euros et de dollars. Par conséquent, la qualité de l'air est essentielle, et une alimentation fiable en air propre et sec est cruciale.
Air propre et sec conforme à la norme ISO 8573-1:2010
Quelle est la qualité attendue de l'air propre et sec ?
Il doit être conforme à la classe 0 de la norme ISO 8573-1:2010, qui est la norme internationale des classes de qualité de l'air.
Cette norme définit la quantité des trois types de contaminants que l'air peut contenir. Plus la classe est basse, plus la qualité de l'air est élevée. Par conséquent, la classe 0 désigne l'air le moins contaminé.
Et pour répondre aux exigences d'une salle blanche dans la production de semi-conducteurs, l'air doit atteindre une qualité de classe 0 en matière d'humidité, d'huile et de poussière.
Comment atteindre la classe 0 en matière d'humidité, d'huile et de poussière ?
- Tout commence par le compresseur d'air adapté. En achetant une unité sans huile, les fabricants de semi-conducteurs n'ont plus à se soucier de la présence d'un des trois contaminants.
- Ensuite, des filtres spéciaux éliminent la poussière et autres particules de l'air comprimé et les empêchent de pénétrer dans les salles blanches. Plusieurs filtres de ce type sont nécessaires pour être conforme à la classe 0.
Nous avons évoqué l'aspect « propre » de l'air, mais qu'en est-il de l'aspect « sec », qui permet d'éliminer le risque de corrosion ?
- Pour cela, vous aurez besoin d'un sécheur haute performance capable d'atteindre un point de rosée sous pression (PDP) inférieur à -70 °C. Ce type de PDP peut être obtenu avec un sécheur par adsorption à dessiccant. Ces sécheurs à dessiccant constituent le choix idéal pour l'obtention d'un air très sec pour les applications critiques.
Configuration d'une installation de circuit d'air comprimé propre et sec
Comment une installation d'air propre et sec classique doit-elle être configurée pour empêcher les contaminants de pénétrer dans la salle blanche et obtenir une qualité triple zéro ?
- Tout commence par le compresseur sans huile. Comme la production de semi-conducteurs est très gourmande en énergie, il est logique d'investir dans un modèle économe en énergie. Cela peut réduire considérablement les coûts d'exploitation.
- Passons ensuite au préfiltre. Son rôle est d'éliminer la plupart des particules présentes dans l'air comprimé. Ainsi, l'air qui atteint le sécheur est déjà beaucoup plus propre, ce qui contribue à réduire les besoins de maintenance de ce dernier. Bien qu'un sécheur par adsorption sèche très bien l'air, il peut produire de la poussière de dessiccant. Par conséquent, l'air qui vient d'être séché passe ensuite par deux filtres finaux. Ceux-ci filtrent la poussière de dessiccant et purifient davantage l'air.
- A ce stade, seules subsistent les particules les plus petites. Désormais, l'air doit simplement passer par un dernier filtre. Généralement, il s'agit d'un filtre à membrane en PTFE qui utilise la technologie de filtration de surface afin de capturer les particules jusqu'à une taille de 0,01 μm.
Après cette dernière étape, l'air propre et sec peut être utilisé dans une salle blanche sans compromettre la production de semi-conducteurs.