CDA – tiszta száraz levegős rendszer a félvezetőipar számára
Minden, amit a CDA - tiszta száraz levegőről tudni kell
Mi az a CDA?
A CDA a tiszta száraz levegő rövidítése, ami egy sűrített levegő minőségi szabvány a félvezetőipar számára. Az ebben az ágazatban szükséges levegőminőség szintek messze meghaladják a legtöbb más alkalmazásban szükséges szintet. Jó okkal. Aligha van más iparág, ahol a szennyeződésnek ilyen pusztító és költséges következményei lehetnek.
Ráadásul, míg egyes alkalmazások olajmentes, pormentes vagy száraz sűrített levegőtigényelnek, a félvezetőiparban mindháromnak meg kell lennie. Ez azért van így, mert bármilyen nedvesség, részecske/por vagy olaj a tisztatérben tönkreteheti a félvezetők egész tételét, és ami még fontosabb, az azokat gyártó gépek rozsdamentes acél alkatrészeit. Ez több millió euróba kerülhet. Ezért a levegő minősége alapvető fontosságú, és a tiszta, száraz levegő megbízható biztosítása elengedhetetlen.
Tiszta, száraz levegő az ISO 8573-1:2010 szabvány szerint
Mennyire kell tehát a levegőnek tisztának és száraznak lennie?
Meg kell felelnie az ISO 8573-1:2010 szabvány 0. osztályának, amely a levegőminőségi osztályok nemzetközi szabványa.
Ez a szabvány határozza meg, hogy a három szennyezőanyagtípus bármelyikéből mennyi lehet a levegőben. Minél alacsonyabb az osztály, annál jobb minőségű a levegő. A Class 0 osztály tehát a legkevésbé szennyezett levegőt jelenti.
Ahhoz pedig, hogy a félvezetőgyártásban a tisztateremmel szemben támasztott követelményeknek megfeleljen, a levegőnek el kell érnie a Class 0 minőséget a nedvesség, az olaj és a por tekintetében.
Hogyan érhető el a Class 0 a nedvesség, az olaj és a por tekintetében?
- Minden a megfelelő légkompresszorral kezdődik. A megfelelő olajmentes gép vásárlása azt jelenti, hogy a félvezetőgyártóknak már csak egy szennyeződés miatt nem kell aggódniuk.
- Ezután speciális szűrők kellenek, amelyek eltávolítják a sűrített levegőből a port vagy más részecskéket, és kizárják azokat a tisztaterekből. A Class 0 eléréséhez több ilyen szűrőre is szükség van.
Ezzel a „tisztaság” rendben is van, de mi helyzet a „szárazsággal”, ami kiküszöböli a korrózió kockázatát?"
- Ehhez olyan nagy teljesítményű szárítóra van szüksége, amely képes elérni a -70°C alatti nyomás alatti harmatpontot (PDP). Ilyen harmatpontot adszorpciós szárítóval lehet elérni. Ezek a szárítók optimális választást jelentenek a kritikus alkalmazások nagyon száraz levegőjének biztosításához.
CDA sűrített levegős rendszer összeállítása
De hogyan kell összeállítani egy tipikus CDA-rendszert, hogy a szennyeződéseket ne engedje a tisztaterembe és elérje a tripla nullás minőséget?
- Egy olajmentes kompresszorral kell kezdeni. Mivel a félvezetők gyártása sok energiát igényel, érdemes egy energiatakarékos modellbe beruházni, amivel nagymértékben csökkentheti az üzemeltetési költségeket.
- Ezután következik az előszűrő. Feladata, hogy a sűrített levegőben lévő részecskék nagy részét felfogja. Így a szárítóba érkező levegő már eleve sokkal tisztább, ami segít csökkenteni a karbantartási igényeket. Bár az adszorpciós szárító nagyszerűen szárítja a levegőt, előfordulhat, hogy a szárítóanyagból kis mennyiség por formájában a levegőben marad. Ezért a frissen szárított levegőt ezután két utószűrőn vezetik át. Ezek kiszűrik a szárítóanyag maradékot, és tovább tisztítják a levegőt.
- Ebben a szakaszban már csak a legapróbb részecskék maradnak. A levegőnek most már csak egy szűrőn kell áthaladnia. Ez általában egy PTFE membránszűrő, amely felületi szűrési technológiát alkalmaz a 0,01 μm méretű részecskék felfogására.
Ezt az utolsó lépést követően a tiszta, száraz levegő már tisztatéri környezetben használható anélkül, hogy a félvezetőgyártás veszélybe kerülne.