CDA clean dry air Elektronica en halfgeleiders Electronics and semiconductor Persluchtkwaliteit Productkwaliteit
Onze totaaloplossingen voor schone droge lucht in halfgeleiderfabrieken
Elektronica is een integraal onderdeel van ons dagelijks leven en beïnvloedt zowel persoonlijke als professionele activiteiten. Ze zijn de drijvende kracht achter de moderne wereld, waardoor alles soepel en efficiënt verloopt.
Wat zijn halfgeleiderfabrieken?
Focus op schone droge lucht (CDA)
Een cruciaal onderdeel in de productie van halfgeleiders is de Clean Dry Air (CDA) installatie. Dit omvat de compressorvloer en de droger/filtervloer. Het proces omvat een reeks stappen om een optimale luchtzuiverheid te garanderen, wat essentieel is voor de productieomgeving.
De stroom voor optimale luchtzuiverheid
Het traject naar gecertificeerde schone, droge en olievrije lucht omvat verschillende stappen:
- Omgevingslucht
Initiële luchtzuiverheidsniveaus worden gemeten. - Verzadigde perslucht
Lucht wordt gecomprimeerd, waardoor de relatieve vochtigheid en de concentratie van verontreinigende stoffen in de lucht toenemen - Voorgefilterde verzadigde lucht
Voordat de lucht naar de droger gaat, wordt een eerste grove filtratie uitgevoerd om te voorkomen dat deze deeltjes in de droger terechtkomen - Voorgekoelde droge lucht
De adsorptiedroger verlaagt de luchtvochtigheid tot een drukdauwpunt (PDP) van -100 °C - Gefilterde droge lucht
Na de droger is er een eerste fase van nafiltratie om al het overgedragen stof op te vangen. Achter dat filter hebben we nog steeds een absolute eindfiltratiestap om de laatste deeltjes te verwijderen en een luchtkwaliteit tot 0,01um te garanderen.
Kritieke toepassingen tonen
CDA is essentieel in verschillende toepassingen in de halfgeleiderindustrie, waaronder:
Koeling en droging van gereedschappen
Doorblazen
Gereedschappen en apparatuur voor fotolithografie
Onze totaaloplossingen
De complete oplossingen van Atlas Copco voor CDA besparen geld op energie-efficiëntie en hebben veel mogelijkheden om het milieu te helpen door de gebruikte energie terug te winnen. Als we dit voorbeeld nemen voor een van onze FAB-oplossingen in een moderne productielijn voor halfgeleiders, kunt u onze bijdragen als volgt opsommen:
Besparing tot 143 miljoen kilowatt energie
Vermindering van de CO2-uitstoot met 65 miljoen kilogram
Gelijk aan het groeien van 1,7 miljoen boomzaailingen gedurende 10 jaar
Besparing van 43 miljoen liter benzine
Vermindering van de noodzaak om 5 miljoen kilo kolen te verbranden
Besparing van 21 miljoen euro op energiekosten