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適用於半導體與電子產品製造的無油式空壓機

我們提供經認證的無油解決方案,包括往復式、渦卷式、齒式、螺旋式和離心式空壓機,確保您擁有最適合您的應用的技術,以協助您將停機時間降到最低,並最佳化您的製程。

聯絡我們的專家

專為可靠性而打造

我們設計、打造高品質產品,協助客戶發揮最大生產力。我們對獨特革新設計的投注、嚴選優質元件,以及對高製造品質的堅持,都有助於您的半導體廠以最高效能運作。

純淨的壓縮空氣

我們的無油空壓機結合一系列獨特設計的滾筒乾燥機和壓縮熱能乾燥機,能確保您擁有維持運作所需的空氣品質,並以最節能的方式輸送,幫助您將生產成本減至最低。

降低氮氣製造成本

半導體及電子設施對於效率的要求日益增加,對於氮的需求也日益增長。我們提供的各式重型氮氣製造機經專門設計,可製造高純度的氮氣,其運作成本更是低廉。

探索我們的氮氣製造機系列

可靠的合作伙伴讓您安心無虞

壓縮空氣供應商的可靠性至關重要。乾淨的乾燥空氣是半導體工廠的重要設施項目,任何中斷都可能造成災難性後果。我們的全球服務網絡遍及超過 180 多個國家,這代表前置時間非常短,並且可在需要進行維修時將停機時間降到最低。

經認證的無油空氣

創新技術需要更多而且更好的空氣品質。我們的空壓機系列產品能提供經認證的無油空氣。我們的 Z 系列空壓機更是第一款獲得 TÜV「無油認證」(ISO 8573-1 CLASS 0) 的空壓機。此外,我們是唯一獲得 ISO 22000 認證的空壓機製造商。

能源回收

半導體和電子產品的製程是一種高耗能製程。我們的解決方案讓您有機會能夠回收這些耗能。熱是空氣壓縮過程中必然產生的副產品,而透過我們的能源回收裝置,您可以將這種原本注定逸失的能源回收利用,且回收率高達 90%。這不僅可以顯著降低生產成本,更可減少您的環境足跡。 深入瞭解能源回收

Medtronic Electronics,瑞士

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在半導體和電子工廠中的壓縮空氣應用

冷卻空氣

無塵室中的產品冷卻是電子工廠中最重要的清潔空氣應用。

無塵室

無塵室是工廠的核心部分。除了需控制室內的溫度和溼度之外,還必須消除任何灰塵或其它污染物。這代表壓縮空氣必須為 Class 0 無油空氣,以避免任何污染。

型樣化

型樣化或光刻是指在晶圓上壓印特定圖案的流程。

儀器使用與氣動工具

壓縮空氣用於分類、包裝、測試、處理、組裝、蝕刻等儀器使用或氣動應用。使用無油空氣可確保您的產品在製程中不會受到污染。

清除

清除真空幫浦與文氏幫浦時必須使用無油空氣,以避免造成污染。

廢水處理

在電子工廠製程中所用的水必須經過處理後才能排回自然環境。 深入瞭解廢水處理

焊接

使用高品質氮氣 (也就是高純度的氮氣) 來焊接電子具有多種優點。它能提供更好的效能,並且具有環保方面的優勢。


適用於半導體與電子產品製造的壓縮空氣解決方案

無油空氣壓縮機

無油鼓風機

過濾器和乾燥機

Nitrogen generators