CDA clean dry air Elektronika i półprzewodniki Electronics and semiconductor Jakość powietrza Jakość produktu
Nasze kompleksowe rozwiązania w zakresie czystego i suchego powietrza w fabrykach półprzewodników
Elektronika stanowi integralną część naszego codziennego życia, wpływając zarówno na nasze życie osobiste, jak i zawodowe. Jest siłą napędową współczesnego świata, sprawiając, że wszystko działa sprawnie i wydajnie.
Czym są fabryki półprzewodników?
Najważniejsza kwestia: czyste i suche powietrze (CDA)
Kluczowym elementem w produkcji półprzewodników jest instalacja czystego suchego powietrza (CDA). Obejmuje ona pomieszczenie ze sprężarką oraz pomieszczenie z osuszaczem/filtrem. Proces ten składa się z szeregu etapów mających na celu zapewnienie optymalnej czystości powietrza, która jest niezbędna w środowisku produkcyjnym.
Przepływ zapewniający optymalną czystość powietrza
Droga do uzyskania certyfikowanego czystego, suchego i wolnego od oleju powietrza obejmuje kilka etapów:
- Temperatura otoczenia
Mierzone są początkowe poziomy czystości powietrza. - Nasycone sprężone powietrze
Powietrze jest sprężane, co powoduje wzrost wilgotności względnej i stężenia zanieczyszczeń w powietrzu - Wstępnie filtrowane nasycone powietrze
Zanim powietrze trafi do osuszacza przeprowadzana jest wstępna filtracja, aby zapobiec przedostawaniu się tych cząstek do osuszacza - Wstępnie schłodzone suche powietrze
Osuszacz adsorpcyjny zmniejsza wilgotność powietrza do punktu rosy pod ciśnieniem (PDP) wynoszącego –100°C - Filtrowane suche powietrze
Za osuszaczem znajduje się pierwszy etap filtracji końcowej, który ma na celu wychwycenie wszystkich pozostałości pyłu. Za tym filtrem znajduje się jeszcze ostatni etap filtracji absolutnej, który usuwa ostatnie cząstki i gwarantuje jakość powietrza na poziomie 0,01 µm.
Prezentacja kluczowych zastosowań
CDA ma zasadnicze znaczenie w różnych zastosowaniach w przemyśle półprzewodników, takich jak:
Chłodzenie i suszenie narzędzi
Oczyszczanie
Narzędzia i sprzęt do fotolitografii
Nasze kompleksowe rozwiązania
Kompleksowe rozwiązania Atlas Copco dla CDA pozwalają zaoszczędzić pieniądze dzięki energooszczędności i oferują wiele możliwości ochrony środowiska poprzez odzyskiwanie zużytej energii. Jeśli weźmiemy za przykład jedno z naszych rozwiązań FAB zamontowanych na nowoczesnej linii produkcyjnej półprzewodników, możemy wymienić jego następujące zalety:
Oszczędność energii wynosząca nawet 143 miliony kilowatów
Zmniejszenie emisji CO2 o 65 milionów kilogramów
Odpowiada posadzeniu 1,7 miliona sadzonek drzew w ciągu 10 lat
Oszczędność 43 milionów litrów paliwa
Zmniejszenie zapotrzebowania na spalenie 5 milionów kilogramów węgla
Oszczędność 21 milionów euro na kosztach energii