CDA - Không khí sạch và khô cho ngành công nghiệp bán dẫn
CDA là hệ thống cung cấp khí nén không dầu, không bụi, không ẩm, đạt chuẩn cao nhất (Class 0) để đảm bảo môi trường sản xuất sạch tuyệt đối , ngăn ngừa nhiễm bẩn và ăn mòn trong các ngành công nghiệp như sản xuất chất bán dẫn, dược phẩm, thực phẩm, và điện tử chính xác.
CDA (Clean Dry Air) là tiêu chuẩn chất lượng không khí nén dành cho công nghiệp bán dẫn. Yêu cầu về chất lượng không khí trong lĩnh vực này khắt khe hơn rất nhiều so với hầu hết các ứng dụng khác. Lý do là vì đây là ngành có mức độ nhạy cảm cao đối với sự nhiễm bẩn, nơi mà bất kỳ tạp chất nào cũng có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng và tổn thất chi phí khổng lồ.
Trong nhiều ứng dụng công nghiệp khác, không khí nén có thể chỉ cần không dầu, không bụi hoặc khô, nhưng trong ngành bán dẫn, không khí phải đáp ứng cả ba tiêu chí cùng lúc. Bất kỳ độ ẩm, hạt bụi hay dầu nào trong phòng sạch cũng có thể làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm bán dẫn, thậm chí ảnh hưởng đến các linh kiện thép không gỉ trong dây chuyền sản xuất. Những tổn thất này có thể lên đến hàng triệu USD hoặc Euro, vì vậy, việc đảm bảo không khí sạch và khô là yếu tố tối quan trọng.
CDA phải tuân thủ Class 0 theo tiêu chuẩn ISO 8573-1:2010, đây là tiêu chuẩn quốc tế về các cấp độ chất lượng không khí nén.
- Tiêu chuẩn này xác định lượng tạp chất tối đa mà không khí có thể chứa.
- Cấp càng thấp, chất lượng không khí càng cao. Vì vậy, Class 0 đảm bảo mức độ nhiễm bẩn thấp nhất có thể.
- Để đáp ứng tiêu chuẩn phòng sạch trong sản xuất bán dẫn, không khí phải đạt Class 0 về độ ẩm, dầu và bụi.
- Mọi thứ bắt đầu từ việc chọn đúng máy nén khí. Việc đầu tư vào một thiết bị không dầu đồng nghĩa với việc các nhà sản xuất chất bán dẫn đã loại bỏ được một yếu tố gây nhiễm bẩn mà họ không còn phải lo lắng nữa.
- Tiếp theo, các bộ lọc chuyên dụng sẽ loại bỏ bụi và các hạt khác khỏi khí nén, giữ cho chúng không xâm nhập vào phòng sạch. Bạn sẽ cần nhiều bộ lọc để đạt được tiêu chuẩn Class 0.
Như vậy là đã xử lý phần "sạch", còn phần "khô" thì sao? Đó là yếu tố giúp loại bỏ nguy cơ ăn mòn.
- Để làm được điều đó, bạn sẽ cần một máy sấy hiệu suất cao có thể đạt điểm sương áp suất (PDP) dưới -70°C. Loại PDP này có thể đạt được bằng máy sấy hấp phụ dùng chất hút ẩm. Đây là lựa chọn tối ưu để cung cấp khí cực khô cho các ứng dụng quan trọng.
Vậy một hệ thống CDA điển hình cần được thiết lập như thế nào để ngăn chất gây nhiễm vào phòng sạch và đạt chất lượng “ba số 0”?
- Đầu tiên là máy nén khí không dầu. Vì sản xuất chất bán dẫn tiêu tốn rất nhiều năng lượng, nên việc đầu tư vào một model tiết kiệm điện là lựa chọn hợp lý, giúp giảm đáng kể chi phí vận hành.
- Tiếp theo là bộ lọc sơ cấp, có nhiệm vụ giữ lại phần lớn các hạt trong khí nén. Nhờ đó, khí đi vào máy sấy đã sạch hơn nhiều, giúp giảm nhu cầu bảo trì. Mặc dù máy sấy hấp phụ làm khô khí rất hiệu quả, nhưng có thể tạo ra bụi từ chất hút ẩm. Vì vậy, khí sau khi được làm khô sẽ đi qua hai bộ lọc sau để loại bỏ bụi chất hút ẩm và tiếp tục làm sạch khí.
- Ở giai đoạn này, chỉ còn lại những hạt siêu nhỏ. Khí chỉ cần đi qua một bộ lọc cuối cùng – thường là bộ lọc màng PTFE sử dụng công nghệ lọc bề mặt để giữ lại các hạt có kích thước nhỏ tới 0.01 μm.
Sau bước cuối cùng này, khí sạch và khô đã sẵn sàng để sử dụng trong môi trường phòng sạch mà không gây rủi ro cho quá trình sản xuất chất bán dẫn.
Trong ngành bán dẫn, không khí sạch và khô (CDA) đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo tiêu chuẩn không khí sạch trong phòng sạch và duy trì chất lượng sản phẩm. Việc lựa chọn máy nén khí không dầu, hệ thống lọc bụi, và máy sấy khí hấp thụ giúp loại bỏ hoàn toàn dầu, độ ẩm và hạt bụi – những yếu tố có thể gây tổn thất hàng triệu đô la trong sản xuất bán dẫn.
Để đáp ứng tiêu chuẩn ISO 8573-1:2010 Class 0, các doanh nghiệp trong công nghiệp bán dẫn cần đầu tư vào hệ thống không khí sạch và khô chất lượng cao, giúp bảo vệ thiết bị, giảm thiểu rủi ro và tối ưu hóa quy trình sản xuất.
Bạn đang tìm kiếm giải pháp CDA - không khí sạch và khô để đảm bảo tiêu chuẩn phòng sạch trong sản xuất bán dẫn? Hãy liên hệ ngay với chúng tôi để được tư vấn về hệ thống máy nén khí, bộ lọc và máy sấy khí tối ưu cho doanh nghiệp của bạn!
