Rozwiązania próżniowe do produkcji półprzewodników

Przemysł półprzewodnikowy i elektroniczny przekształca nasze życie, umożliwiając nam korzystanie z komfortu nowych technologii i innowacji.

Przemysł półprzewodnikowy i elektroniczny odgrywają kluczową rolę w ciągłym rozwoju technologii i innowacji, które zmieniają nasze codzienne życie. Smartfony, komputery, konsole do gier i inne urządzenia to jedne z najpotężniejszych i najbardziej skomplikowanych technologii, jakie kiedykolwiek stworzyliśmy. Sercem tej technologii jest niewielki układ scalony. Mimo niewielkich rozmiarów, układy te należą do najbardziej złożonych urządzeń istniejących obecnie, a ich produkcja wymaga procesów produkcyjnych, które są bardzo wrażliwe na niedoskonałości.

Produkcja półprzewodników należy do najszybciej rozwijających się branż na świecie, a nowe produkty nieustannie wymagają coraz większych prędkości i wyższych specyfikacji. Z kolei procesy produkcyjne potrzebują niezawodnego i stałego podciśnienia. Lokalne systemy próżniowe zapewniające czyste i stałe podciśnienie są niezbędne do przeprowadzanych w tej branży operacji testowania, przechowywania, montażu i pakowania. Dlatego też odpowiedni dobór pompy próżniowej ma kluczowe znaczenie dla procesu produkcyjnego.

Potrzeba próżni w produkcji półprzewodników

Lokalne systemy próżniowe są wykorzystywane w różnego rodzaju operacjach przemieszczania i obsługi wchodzących w skład procesów produkcji układów scalonych, takich jak przenoszenie, cięcie, formowanie, testowanie itp. Ponieważ układ półprzewodnikowy składa się z wielu elementów, niezbędne jest niezwykle precyzyjne wytwarzanie półprzewodników, a próżnia ma kluczowe znaczenie na każdym etapie ich produkcji.

Wartość podciśnienia bezwzględnego zapewniająca odpowiedni poziom w każdym urządzeniu oraz zabezpieczająca przed zanieczyszczeniami w wyniku przepływu wstecznego mieści się w przedziale od 100 do 400 mbar. Typowa fabryka półprzewodników może wymagać przepływu od 2000 do 8000 m³/h, ale większa fabryka może wymagać przepływu przekraczającego 12 000 m³/h. Fabryki działają przez 24 godziny na dobę i 7 dni w tygodniu, więc ich lokalne systemy próżniowe muszą być niezawodne. Dlatego niezbędne jest zapewnienie nadmiarowości i odpowiedniego poziomu niezawodności.

Energooszczędne pompy próżniowe Atlas Copco dla przemysłu półprzewodnikowego

Rotacyjna śrubowa pompa próżniowa GHS VSD⁺ firmy Atlas Copco jest popularnym wyborem w branży półprzewodnikowej, ponieważ VSD⁺ to coś więcej niż tylko „napęd o zmiennej prędkości obrotowej”. Urządzenie GHS VSD⁺ jest wyposażone w specjalnie opracowany sterownik logiczny z odpowiednim oprogramowaniem, który zapewnia stały poziom podciśnienia w całej fabryce. Nasza inteligentna pompa próżniowa jest liderem innowacji ekologicznych, który znacznie zmniejsza zużycie energii, ograniczając wpływ na środowisko, aby zwiększyć zrównoważony rozwój.

Atlas Copco oferuje również kompletną gamę suchych kłowych pomp próżniowych DZS VSD⁺ oraz pomp próżniowych LRP VSD⁺ z pierścieniem cieczowym. Trwała, sprawdzona konstrukcja sprawia, że pompy te doskonale sprawdzają się w mniej wymagających zadaniach realizowanych w zakładach. To także idealny zamiennik używanych dotychczas pomp i świetny wybór, gdy niższe koszty nabycia liczą się bardziej niż całkowity koszt eksploatacji. Warianty o zróżnicowanej wydajności i technologia VSD⁺ dostępna we wszystkich pompach próżniowych Atlas Copco sprawiają, że pompy z tych serii stanowią idealny wybór do centralnych systemów próżniowych, w tym lokalnych systemów próżniowych stosowanych w fabrykach półprzewodników.

Korzyści wynikające z opracowanych przez Atlas Copco innowacyjnych systemów retencji oleju

W sieci lokalnego systemu próżniowego cząsteczki powietrza poruszają się w kierunku pompy próżniowej, a przy zaprojektowanym poziomie próżni gęstość przepływu jest nadal znaczna. Z tego względu cząstki oleju i wilgoć nie mogą migrować w kierunku procesu. Pompy próżniowe są często zlokalizowane z dala od hal produkcyjnych, w specjalnie do tego celu wyznaczonym pomieszczeniu. Daje to swobodę wyboru technologii pompy bez obawy o zanieczyszczenie sieci węglowodorami. Należy jednak zwrócić uwagę na środowisko po stronie wylotu pomp próżniowych.

Pompy próżniowe firmy Atlas Copco, takie jak rotacyjna śrubowa pompa próżniowa z uszczelnieniem olejowym GHS VSD⁺, są wyposażone w doskonałe systemy retencji oleju. W razie potrzeby na wylocie pompy można zamontować dodatkowe układy filtrujące, które zapewniają, że do atmosfery nie przedostanie się żadne zanieczyszczenie, a także zaawansowane układy cyrkulacji/filtracji powietrza otaczające fabrykę.

W przypadku konieczności zastosowania pompy próżniowej z certyfikatem klasy 0 Atlas Copco oferuje linię suchych kłowych pomp próżniowychDZS VSD⁺.

Zapewnienie stałych poziomów podciśnienia

W przeszłości fabryki półprzewodników miały problemy z lokalnymi systemami próżniowymi ze względu na duże wahania poziomu podciśnienia. Wydajność konwencjonalnych pomp ulega pogorszeniu z powodu zużycia i warunków otoczenia, takich jak zmiany temperatury.

Konstrukcja rotacyjnej pompy śrubowej ze smarowaniem olejowym Atlas Copco GHS VSD⁺ zapewnia stałą wydajność bez względu na warunki środowiskowe. Niezależnie od żądanej prędkości procesu, zapewniona jest pełna dostępność. Pompa Atlas Copco GHS VSD⁺ wyposażona w technologię VSD⁺ automatycznie przyspiesza i zwalnia w celu dostosowania do zmiennego zapotrzebowania na podciśnienie, utrzymując wymagane nastawy przy maksymalnej efektywności.

Inteligentna łączność

Pompy próżniowe Atlas Copco VSD⁺ zostały zaprojektowane z myślą o inteligentnej łączności z wykorzystaniem protokołów komunikacyjnych najnowszej generacji, dzięki czemu są zgodne z zasadami Przemysłu 4.0.

Sterownik pompy próżniowej HEX@™ firmy Atlas Copco sprawia, że wdrożenie pomp naprawdę odbywa się na zasadzie „plug and play”, a ponadto umożliwia ich integrację i podłączenie do wymaganych poziomów, w zależności od potrzeb danego procesu. Zapewnia to bezproblemową integrację rozwiązania próżniowego z resztą procesów produkcyjnych oraz komunikację z systemami zakładowymi (i z użytkownikiem), zanim będzie wymagany ewentualny serwis.

System odzysku energii

Aż 90% energii elektrycznej zużywanej przez rozwiązanie próżniowe jest zamieniane na ciepło. Dzięki zintegrowanemu systemowi odzyskiwania energii firmy Atlas Copco można odzyskać do 75% tej energii jako ciepłą wodę bez negatywnego wpływu na wydajność maszyny.

Efektywne wykorzystanie odzyskanej energii zapewnia znaczne oszczędności kosztów i szybszy zwrot z inwestycji, a ponadto może pomóc w realizacji zobowiązań dotyczących zarządzania energią i ochrony środowiska zgodnie z normą ISO 50001/14001.

Proste konserwacje i naprawy

W Atlas Copco dbamy o ciągłość produkcji i wiemy, czego potrzeba do niezawodnego działania pomp próżniowych. Dlatego chcemy być partnerem serwisowym pompy próżniowej. Nasi doświadczeni specjaliści ds. rozwiązań próżniowych są gotowi do przeprowadzania rutynowych czynności konserwacyjnych, rozwiązywania problemów, napraw i przekazywania do eksploatacji urządzeń próżniowych w dowolnym miejscu na świecie, oferując rozwiązania obejmujące najlepsze praktyki dostosowane do potrzeb klientów.

Zespoły ekspertów dbają, aby oczekiwania klientów w zakresie wydajności pomp próżniowych były spełniane z nawiązką. Robią to kompleksowo — od zapewniania regularnego serwisowania po wychodzenie naprzeciw specyficznym potrzebom klientów w zakresie okresowej obsługi technicznej.

Zapoznaj się z naszą ofertą pomp próżniowych do produkcji półprzewodników

Pompy próżniowe serii GHS VSD⁺ ze sterownikiem HEX@™

Seria GHS VSD⁺ to nowa generacja śrubowych pomp próżniowych z wtryskiem oleju, napędem o zmiennej prędkości obrotowej, rewolucyjnym systemem sterowania i funkcjami wymiany danych.

Inteligentna pompa próżniowa z pierścieniem cieczowym

Kolejny duży krok w rozwoju technologii pierścieni cieczowych — pompy z serii LRP 700–1000 VSD⁺ idealnie nadają się do wykorzystania w środowiskach o dużej wilgotności i wysokim poziomie zanieczyszczeń w zastosowaniach, w których występują wysokie temperatury, ekstremalnie duże ilości oparów, a nawet przenoszenie cieczy i cząstek stałych podczas realizacji procesu.

Pompy próżniowe kłowe suche

Prostota, solidność, sprawność i zdolność radzenia sobie z zanieczyszczeniami, jakie oferują pompy DZS, czynią z nich dobry wybór. Nowe pompy kłowe suche są optymalnie dostosowane do standardów i jakości wymaganych przez klientów, a przy tym zapewniają bezproblemową i ekonomiczną pracę.