Giải pháp chân không dành cho sản xuất chất bán dẫn

Các ngành công nghiệp bán dẫn và thiết bị điện tử đóng vai trò quan trọng trong việc tiếp tục phát triển các công nghệ và cải tiến đang biến đổi cuộc sống hàng ngày của chúng ta. Điện thoại thông minh, máy tính, thiết bị chơi game, v.v. là một số công nghệ mạnh mẽ và phức tạp nhất từng được phát triển. Ở trọng tâm của công nghệ này là một con chip siêu nhỏ. Bất chấp kích cỡ rất nhỏ, những con chip này vẫn là một trong số những thiết bị phức tạp nhất hiện nay và việc sản xuất chúng đòi hỏi một quy trình sản xuất có độ nhạy cao. 

Chế tạo chất bán dẫn là một trong những ngành công nghiệp phát triển nhanh nhất thế giới, với các sản phẩm mới liên tục đòi hỏi tốc độ nhanh hơn và thông số kỹ thuật cao hơn. Quy trình này cần nguồn cung chân không đáng tin cậy và ổn định. Phải có chân không trong nhà sạch sẽ, đồng nhất để kiểm tra, giữ, chọn và lấy và bố trí các hoạt động đóng gói trong ngành. Do đó, việc chọn đúng giải pháp bơm chân không là điều rất quan trọng đối với quy trình sản xuất.

Bơm chân không trục vít GHS VSD⁺ của Atlas Copco là lựa chọn phổ biến trong ngành công nghiệp bán dẫn vì VSD⁺ không chỉ là “biến tần”. GHS VSD⁺ được trang bị bộ điều khiển logic độc quyền và phần mềm cung cấp mức chân không nhất quán trong toàn nhà máy sản xuất. Bơm chân không thông minh của chúng tôi là sản phẩm hàng đầu về đổi mới xanh, cắt giảm đáng kể mức tiêu thụ năng lượng, giảm tác động đến môi trường để thúc đẩy tính bền vững.

Atlas Copco cũng cung cấp dòng sản phẩm bơm chân không có vấu dạng khô DZS VSD⁺ và bơm chân không vòng nước LRP VSD⁺. Thiết kế bền chắc, đã được kiểm chứng phù hợp với các hoạt động của nhà máy nhỏ hơn, để thay thế trực tiếp cho các bơm hiện có, hoặc cho những cơ sở chi phí mua lại thấp hơn tổng chi phí vòng đời sẽ tạo ý nghĩa. Phạm vi công suất và công nghệ VSD⁺ của tất cả bơm chân không của Atlas Copco đồng nghĩa với việc chúng lý tưởng cho hệ thống chân không trung tâm, bao gồm chân không tại chỗ có trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn. 

Trong mạng lưới chân tại chỗ, các phân tử khí di chuyển theo hướng của bơm chân không và tại mức chân không được thiết kế, mật độ dòng vẫn khá lớn. Vì lý do này, các phân tử dầu và hơi ẩm không thể chuyển theo hướng quy trình. Bơm chân không thường nằm cách xa các phòng sản xuất, trong một phòng tiện ích chuyên dụng. Điều này cho phép tự do lựa chọn công nghệ bơm mà không cần lo lắng về việc ô nhiễm các-bon môi trường của mạng lưới. Tuy nhiên, cần chú ý đến môi trường ở phía xả của bơm chân không.

Bơm chân không của Atlas Copco chẳng hạn như dòng bơm chân không trục vít ngâm dầu GHS VSD⁺ được trang bị hệ thống giữ dầu vượt trội. Nếu cần, có thể lắp thêm hệ thống lọc tại ống xả của bơm để đảm bảo không xảy ra hiện tượng nhiễm bẩn vào không khí và hệ thống tuần hoàn/lọc khí phức tạp xung quanh nhà máy sản xuất chất bán dẫn.

Nếu cần bơm chân không công nghệ khô đạt chứng nhận Class 0, Atlas Copco cung cấp dòng sản phẩm bơm chân không có vấu dạng khô DZS VSD⁺.

Các nhà sản xuất chất bán dẫn trước đây gặp vấn đề về chân không tại chỗ do dao động lớn trong mức chân không. Hiệu suất của bơm thông thường giảm chất lượng do tình trạng ăn mòn và môi trường như biến đổi nhiệt độ.

Thiết kế trục vít xoay được bôi trơn bằng dầu GHS VSD⁺ của Atlas Copco duy trì hiệu suất nhất quán bất kể điều kiện môi trường. Bất kỳ tốc độ nào cần thiết cho quá trình này luôn có sẵn. Được trang bị công nghệ VSD⁺ của Atlas Copco, GHS VSD⁺ tự động tăng tốc và giảm tốc để phù hợp với nhu cầu về chân không khác nhau, duy trì điểm đặt bắt buộc với hiệu suất tối đa.