Løsninger for produksjon av halvledere

Halvleder- og elektronikkindustrien er avgjørende for den fortsatte utviklingen av teknologier og innovasjoner som forvandler dagliglivet vårt. Smarttelefoner, PC-er, spillenheter med mer er noen av de kraftigste og mest intrikate teknologiene som noensinne er utviklet. Kjernen i denne teknologien er en knøttliten mikrobrikke. Til tross for at de er små, er disse brikkene noe av det mest komplekse utstyret som eksisterer i dag, og produksjon av dem krever en produksjonsprosess som er svært sensitiv. 

Halvlederproduksjon er blant de raskest voksende bransjene i verden i dag, med nye produkter som kontinuerlig krever raskere hastigheter og høyere spesifikasjoner. Denne prosessen trenger i sin tur en pålitelig og jevn tilførsel av vakuum. Det kreves rent, konsekvent anleggsvakuum for operasjoner for testing, holding, henting og plassering og emballasje i bransjen. Derfor er valg av riktig vakuumpumpeløsning avgjørende for produksjonsprosessen.

Atlas Copcos GHS VSD⁺ roterende skruevakuumpumpe er et populært valg i halvlederindustrien fordi VSD⁺ er mer enn bare en «drivenhet med variabel hastighet». GHS VSD⁺ er utstyrt med en patentert logisk styreenhet og programvare som leverer konsistent vakuumnivå gjennom hele fabrikken. Vår intelligente vakuumpumpe er en grønn innovasjonsleder som kutter energiforbruket betydelig og reduserer miljøpåvirkningen for å drive bærekraft.

Atlas Copco tilbyr også det komplette utvalget av DZS VSD+ tørre vakuumpumper med klo og LRP VSD+ væskeringsvakuumpumper. Deres holdbare, velprøvde design er godt egnet for operasjoner på mindre fabrikker, for direkte utskifting av eksisterende pumper, eller der lavere anskaffelseskostnader betyr mer enn totale levetidskostnader. Kapasitetsområdet og VSD+ -teknologien til alle Atlas Copco-vakuumpumper betyr at de er ideelle for sentralvakuumsystemer, inkludert anleggsvakuum som finnes i halvlederfabrikker. 

I et anleggsvakuumnettverk beveger luftmolekylene seg i retning av vakuumpumpen, og på det planlagte vakuumnivået er tettheten til strømmen fortsatt betydelig. Av denne grunn kan ikke oljemolekyler og fuktighet migrere mot prosessen. Vakuumpumper er ofte plassert langt fra produksjonshallene i et eget utstyrsrom. Dette gir frihet til å velge pumpeteknologien uten å bekymre seg for hydrokarbonforurensning i nettverket. Vær imidlertid oppmerksom på miljøet på utløpssiden av vakuumpumpene.

Atlas Copco-vakuumpumper som GHS VSD ⁺ oljeforseglet roterende skruevakuumpumpe er utstyrt med overlegne systemer for tilbakeholding av olje. Ved behov kan ytterligere filtreringssystemer ved pumpeavløpet monteres for å sikre at ingen forurensning tilføres atmosfæren og sofistikerte luftsirkulasjons-/filtreringssystemer rundt fabrikken.

Hvis behovet er for en klasse 0-sertifisert tørrvakuumpumpe, tilbyr Atlas Copco produktserien DZS VSD⁺ tørre vakuumpumper med klo.

Halvlederfabrikker hadde tradisjonelt problemer med anleggsvakuumet på grunn av store svingninger i vakuumnivået. Ytelsen til konvensjonelle pumper brytes ned på grunn av slitasje og miljøforhold som temperaturvariasjoner.

Atlas Copcos GHS VSD ⁺ oljesmurte roterende skruekonstruksjon opprettholder konsistent ytelse uavhengig av miljøforhold. Enhver hastighet som ønskes for prosessen, er alltid tilgjengelig. GHS VSD⁺ er utstyrt med Atlas Copcos VSD⁺-teknologi, og øker og reduserer automatisk hastigheten avhengig av det varierende vakuumbehovet og opprettholder det innstilte settpunktet med maksimal effektivitet.