エレクトロニクス産業向けプロセスろ過
- プロセスろ過は、半導体製造で使用される超純水やプロセス化学物質から不純物や粒子を除去します。 高度なろ過システムは、粒子や汚染物質を除去することで、一貫したチップ品質、高い歩留まり、信頼性の高い生産性能の維持に役立ちます。
- プロセスろ過システムは、腐食、汚れ、損傷から繊細な機器とツールを保護します。
- 半導体向けの最新のろ過ソリューションは、水と化学薬品の消費量を削減することで、持続可能な製造をサポートします。また、産業廃棄物、排出量、環境への影響を最小限に抑え、より厳しい規制基準に準拠します。
- クリーンドライエア -CDA に必要な高い空気品質を達成するには、半導体には高度なろ過技術が必要です。 半導体用途では、プロセスと製品を保護するために優れた空気純度が求められます。当社の膜ベースのろ過技術は、クラス最高の性能を提供し、重要な半導体環境に必要な空気品質レベルを確保します。
CDAの重要性 - クリーンドライエア
プロセスフィルターは、半導体製造工場の製造工程で使用される重要なコンポーネントです。また、繊細な電子部品や組み立て済み製品の製造場所でも同様です。
これらのプロセスのほとんどは、高い一貫したスループットで 24 時間 365日稼働し、製品品質に対する厳しい要件を満たす必要があります。プロセスの中断はメーカーに大きな損失をもたらす可能性があるため、フィルターは高い品質と信頼性を確保する必要があります。
これらのフィルタは、ガスから汚染物質（空気中の分子汚染物質など）を浄化したり、プロセスで使用される媒体（CDA、ガス、液体、化学薬品）から他の不純物を浄化したりするために使用されます。
アプリケーションムービー：Medtronic electronics Switserland
半導体産業向け認定オイルフリーエアコンプレッサ
革新的なテクノロジーには、より多くの、特により良い空気品質が必要です。
アトラスコプコのコンプレッサシリーズは、認定オイルフリーエアを供給します。
アトラスコプコの Z シリーズコンプレッサは、TÜV による「オイルフリー」（ISO 8573-1 CLASS 0）認証を取得した初のエアコンプレッサです。さらに、当社は、 ISO 22000 認証を取得した唯一のコンプレッサメーカーです。
電子機器生産における熱回収
半導体と電子機器の製造プロセスは、非常にエネルギー集約的なプロセスです。当社のソリューションは、このエネルギーを回収する大きな機会を提供します。熱は空気圧縮の避けられない副産物です。当社のエネルギー回収ユニットを使用すると、失われたエネルギーの最大 90% を再利用できます。生産コストを大幅に削減し、環境フットプリントを削減します。
半導体および電子機器工場での圧縮空気の使用
冷却空気
クリーンルーム内での製品の冷却は、電子機器工場で最も重要なクリーンエアの用途です。
クリーンルーム
クリーンルームはプラントの中心部です。部屋の温度と湿度を制御するだけでなく、ほこりやその他の汚染物質を除去する必要があります。つまり、圧縮空気は汚染を防ぐためにクラス 0 のオイルフリーエアでなければなりません。
計装および空圧ツール
圧縮空気は、選別、パッケージング、検査、ハンドリング、組立、エッチングやその他の計装または空圧ツール用途に使用されます。オイルフリーエアを使用することで、製品が製造工程で汚染されることはありません。
パターン形成
パターン形成つまりフォトリソグラフィとは、ウェーハ上に特定のパターンを転写するプロセスです。
パージ
真空パージおよびベンチュリーポンプには、汚染防止のためオイルフリーエアを使用しなければなりません。
はんだ付け
高品質の窒素、つまり高純度の窒素を使用して電子機器をはんだ付けすることには多数の利点があります。はんだ付け性が向上するだけではなく、環境上のメリットも得られます。
廃水処理
電子機器工場の製造工程で使用される水は、排出する前に処理する必要があります。 廃水処理に関する詳細はこちら
半導体技術の未来
- ホワイトペーパーのダウンロード
半導体産業は、世界でわずか数兆ドルのセクターの 1 つになる途中です。また、自動車、テクノロジー、インターネットなど、他の多くの業界の背骨でもあります。
急速に変化する競争の激しい業界で一歩先を行くには、チップ設計、生産、材料の最新トレンドとイノベーションを把握する必要があります。しかし、業界の歴史と現在の状況も知っておく必要があります。
そのため、この包括的なガイドをご用意しました。
半導体および電子機器製造向けの圧縮空気ソリューション
オイルフリーエアコンプレッサおよびブースタ
オイルフリーエアブロワー
窒素発生装置
信頼できるパートナーが安心感をもたらします
圧縮空気のサプライヤーが信頼できるかどうかが重要です。クリーンな乾燥空気は半導体工場にとって重要なユーティリティであり、供給が中断すれば大きな損害につながりかねません。アトラスコプコのグローバルなサービスネットワークは世界180か国以上で展開しているため、リードタイムは非常に短く、メンテナンスが必要な場合でもダウンタイムを最小化することができます。