アトラスコプコのソリューション
産業用ツールとソリューション
ソリューション
サービス
取扱製品一覧
産業用ツールとソリューション
パワーテクニーク
ソリューション
取扱製品一覧
パワーテクニーク
Energy Storage Systems
コンプレッサ レンタル
ソリューション
コンプレッサ
ソリューション
取扱製品一覧
コンプレッサ
産業用凝縮水処理ソリューションのラインナップ
製品とソリューション
ソリューション
ガス発生装置
Marine compressors
ドリル
Class 0 campaign

半導体および電子機器製造向けオイルフリーエアコンプレッサ

お客様がダウンタイムを最短にして生産工程を最適化できるよう支援します。アトラスコプコが提供する、レシプロコンプレッサ、スクロールコンプレッサ、ツースコンプレッサ、スクリュコンプレッサ、遠心式コンプレッサなどの認証を取得したオイルフリーソリューションは、お客様の用途に最良の技術です。

詳細を問い合わせる

信頼性を追求した設計

高い品質の製品の設計、製造を通じて、お客様の生産性を最大限にまで高めます。アトラスコプコは独自の革新的製品の設計、卓越したコンポーネントの選択、高品質の製造取り組みへの投資を通じて、お客様の半導体工場が最高の効率で稼働できるよう支援します。

高純度のクリーンな圧縮空気

当社のオイルフリーコンプレッサは、独自の各種ロータリドラムと高熱圧縮ドライヤが統合されています。そのため稼動を続けるために必要な空気品質を最もエネルギー効率よく確保でき、製造コストを最小限に抑えられます。

窒素生成コストの低減

半導体および電子機器施設内では効率改善がますます求められており、これに伴い、窒素需要も高まっています。アトラスコプコは、低い運転コストで高純度の窒素を供給するよう設計された、ヘビーデューティ仕様の窒素発生装置を幅広く取り揃えています。

アトラスコプコの窒素発生装置シリーズについて

信頼できるパートナーが安心感をもたらします

圧縮空気のサプライヤーが信頼できるかどうかが重要です。クリーンな乾燥空気は半導体工場にとって重要なユーティリティであり、供給が中断すれば大きな損害につながりかねません。アトラスコプコのグローバルなサービスネットワークは世界180か国以上で展開しているため、リードタイムは非常に短く、メンテナンスが必要な場合でもダウンタイムを最小化することができます。

認証を取得したオイルフリーのエア

革新的な技術には多くのものを要しますが、特に高い品質の空気を必要とします。弊社のコンプレッサは、認証を取得したオイルフリーエアを供給します。Zシリーズコンプレッサは、TÜVより「オイルフリー」認証(ISO 8573-1 CLASS 0)を受けた初のエアコンプレッサです。さらに、アトラスコプコはISO 22000の認証を受けた唯一のコンプレッサメーカーです。

エナジーリカバリ

半導体および電子機器の製造工程は、非常にエネルギー集約的な工程です。アトラスコプコのソリューションは、このエネルギーを回収する大きなチャンスを提供します。熱は、エア圧縮で必ず発生する副産物ですが、弊社の熱回収ユニットでこの損失エネルギーの最大90%を再利用することができます。生産コストの削減と環境への影響の縮小を実現します。 エネルギー回収に関する詳細はこちら

スイスのMedtronic electronics社

Loading...

半導体および電子機器工場での圧縮空気の使用

冷却空気

クリーンルーム内での製品の冷却は、電子機器工場で最も重要なクリーンエアの用途です。

クリーンルーム

クリーンルームは、工場の中心的な施設です。室内の温度と湿度を管理するだけではなく、ほこりや汚染物質を除去する必要があります。つまり、汚染防止のためには圧縮空気はClass 0 オイルフリーエアでなければならないのです。

パターン形成

パターン形成つまりフォトリソグラフィとは、ウェーハ上に特定のパターンを転写するプロセスです。

計装&空圧ツール

圧縮空気は、選別、パッケージング、検査、ハンドリング、組立、エッチングやその他の計装または空圧ツール用途に使用されます。オイルフリーエアを使用することで、製品が製造工程で汚染されることはありません。

パージ

真空パージおよびベンチュリーポンプには、汚染防止のためオイルフリーエアを使用しなければなりません。

廃水処理

電子機器工場の製造工程で使用される水は、排出する前に処理する必要があります。 廃水処理に関する詳細はこちら

はんだ付け

高品質の窒素、つまり高純度の窒素を使用して電子機器をはんだ付けすることには多数の利点があります。はんだ付け性が向上するだけではなく、環境上のメリットも得られます。


半導体および電子機器製造向け圧縮空気ソリューション

オイルフリーコンプレッサ

オイルフリーエアブロワ

フィルタとドライヤ

窒素発生装置